表面等离子
、超高真空热氧化)、高温中性氧原子等离子体氧化、场诱导阳极氧化等。
采用TOPCon技术的高效晶硅太阳电池虽然还处于研发阶段，但是该技术的运用也取得了一定的进展。实验室中，Yamamoto等将前表面
。降低光学损失的有效措施包括前表面低折射率的减反射膜、前表面绒面结构、背部高反射等陷光结构及技术，而前表面无金属电极遮挡的全背接触技术则可以最大限度地提高入射光的利用率。减少电学损失则需要从提高硅片质量
较低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜
BSF电池由于背表面的金属铝膜层中的复合速度无法降至200cm/s以下，致使到达铝背层的红外辐射光只有60-70%能被反射，产生较多光电损失，因此在光电转换效率方面具有先天的局限性;而PERC技术通过在
在此不作赘述。
下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:
1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现PERC工艺的主设备，其技术方案主要有PECVD(等离子体增强化学气相沉积
射频激发受热的稀薄气体进行辉光放电形成等离子体，通过两片相对应的石墨片加相反的交变电压使等离子在极板间加速撞击气体，运动到硅片表面完成镀膜过程。
三、镀膜的相关介绍
1、机台照片与工作
态。
等离子体在化学气相沉积中有如下作用：
(1).将反应物中的气体分子激活成活性离子，降低反应所需的温度;
(2).加速反应物在基片表面的扩散作用(表面迁移作用)，提高成膜速度;
(3).对于基体表面及膜
光伏行业研究的科研机构较多，具有代表性的有：
上海地区研究机构一览
今年3月，中国科学院上海应用物理研究所高兴宇课题组开发出一种新型钙钛矿薄膜表面钝化工艺，极大减少钙钛矿薄膜特别是其表面
新能源(镀膜设备)、凯世通(等离子注入机)和申科(组件设备)等公司。
《十三五能源规划》中也强调，要推动高效晶硅电池开发，加快染料敏化电池、柔性薄膜电池及组件的示范应用和产业化。尤其要进一步加
环境更有利于高折射率的获得。此外，还就膜厚和折射率随温度、环境变化的情况进行了详细的讨论。
1引言
氮化硅薄膜制备在太阳能电池生产中起着减少硅片表面的反射、进而增加光的利用率的作用，是晶体硅
太阳能电池的重要步骤之一。其关键在于该薄膜不仅减少硅表面反射，还钝化硅材料中大量的杂质和缺陷，并通过改变禁带中能带为价带或导带以提高硅片中的载流子迁移率，延长少子寿命调高光电转化效率的目的。因此如何更好的增强
材料、软物质物理和等离子体等多个优势。
厦门大学能源学院
厦门大学能源学院是在能源研究院的基础上发展起来的。能源研究院成立于2007年9月， 2013年初，能源研究院新设本科专业新能源
、太阳能光伏发电系统的最核心的器件是( )
A.控制器 B.逆变器 C.太阳电池 D.蓄电池
2、太阳能光伏发电系统中，太阳能电池组件表面被污物遮盖，会影响整个太阳电池产生的电力，从而会产生
等离子体，轰击制备材料制成的靶表面，把靶材中的粒子 轰击出来，粒子沉积在衬底上制成薄膜。特别适用于制备生长熔点和蒸气压相差悬殊的 元素所构成的化合物合 金薄膜。 磁控溅射就是在 阴极表面电压位降区
环境更有利于高折射率的获得。此外，还就膜厚和折射率随温度、环境变化的情况进行了详细的讨论。
1引言
氮化硅薄膜制备在太阳能电池生产中起着减少硅片表面的反射、进而增加光的利用率的作用，是晶体硅
太阳能电池的重要步骤之一。其关键在于该薄膜不仅减少硅表面反射，还钝化硅材料中大量的杂质和缺陷，并通过改变禁带中能带为价带或导带以提高硅片中的载流子迁移率，延长少子寿命调高光电转化效率的目的。因此如何更好的增强
活性基团，例如羟基 (-OH) (图1)，因此可以通过化学反应的方式将氟材料导入背板内层并固定在基材表面。反应性氟材料在涂覆型背板中用的比较多，尤其是在等离子体增强的涂层技术中，通过固化剂将反应性氟
结构十分稳定
❖ 耐酸碱
❖ 耐紫外
❖ 不会发生材料的蠕变、迁移和降解
❖ 对背板的基材PET具有长期的保护作用
背板采用四氟树脂为反应性氟材料，应用等离子增强的表面涂覆技术，将反应性氟
