表面等离子
光伏发电技术研发推广、光伏设备设计及技术开发、咨询、服务等领域。公司核心技术是真空技术下的大型线性等离子源，基于该技术的干法制绒技术用于多晶硅太阳能电池表面制绒可以提高电池转换效率0.5~0.7
Passivating Contact)太阳能电池技术，简称TOPCon技术，能够有效降低表面复合和金属接触复合，为N型电池转换效率提升提供了更大的空间。 TOPCon电池技术优势 钝化优势 表面钝化性能主要
。 值得一提的是，该电池采用了基于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备的新型多晶硅化物薄膜，可显著增强表面钝化、降低中长波段寄生吸收，同时兼顾载流子选择性收集，能够全面提升填充因子、短路电流及开路
应用面最广的是1965年发明的PECVD(等离子增强化学气相沉积)技术，而另一项在十多年后首次提出的HWCVD(热丝化学气相沉积，也称HFCVD)技术，经过技术不断的进步，也获得了越来越多的应用
。
HWCVD的工作原理是利用分子在加热的金属丝上发生催化分解反应，并在基底表面发生沉积、聚合，从而形成薄膜。因此HWCVD又被称为催化化学气相沉积(Cat-CVD)。如下图所示
、不易积灰、耐候性好、高强度、大尺寸、轻薄化。
目前旗滨主推的双层镀膜技术，可以将玻璃的透过率提升到94.4-94.5%以上，能够让更多的光达到电池表面，从而提升改进电池效率。其余优势的得出也已通过
品牌。
能够取得如此傲人成绩的背后，离不开中来新材在背后付出的努力。FFC双面涂覆背板采用了FFC大金氟涂层胶膜一体化技术、等离子体处理技术、微波固化技术。
在考察已运行十多年的光伏电站后，发现
形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电长的作用下在空间形成等离子体，分解SiH4中的Si和H，以及NH3中的N形成SiNx沉积到硅表面。优势：技术最成熟，易实现大面积均匀性，材料缺陷
设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备,在设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。
1)制绒设备：主要是利用化学制剂对硅片进行清洗和表面结构化，核心设备
。可通过氢氟酸或氢等离子体对硅片进行预处理，减少硅片表面的重金属杂质，从而提升少子寿命、提高电池片效率，优化界面钝化效果。
HJT电池膜层优化：非晶微晶相结合
提升非晶硅薄膜的晶化
镀膜，再翻面完成另一面镀膜，即ip+in或in+ip的顺序，该工艺的缺点在于p型掺杂层镀膜完成后，硼残留在腔体及托盘表面，硼污染会影响本征层的钝化效果，降低转换效率。目前，PECVD设备采用两次翻面即
表面结构化，核心设备是湿式化 学清洗设备。
主要厂商：日本 YAC、德国 Singulus、德国 RENA。捷佳伟创的清洗设备已完成样 机并交付。
2) PECVD(非晶硅薄膜沉积)：该步骤取代了
上，放入一个金属的沉积 腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工 艺气体在两个极板之间的交流电长的作用下在空间形成等离子体，分解 SiH4 中的 Si 和 H，以及 NH3
是利用化学制剂对硅片进行清洗和表面结构化，核心设备是湿式化 学清洗设备。
➢ 主要厂商：日本 YAC、德国 Singulus、德国 RENA。捷佳伟创的清洗设备已完成样 机并交付。
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：将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积 腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工 艺气体在两个极板之间的交流电长的作用下在空间形成等离子体，分解
光方面具有更高的效率。研究人员使用了称为泵和探针的光电发射技术，观察了大小为几十纳米的金纳米粒子的行为，这类粒子在受到辐射时会产生一种称为表面等离子体的效应，这意味着更高的电磁辐射吸收效率。研究人员还研究了被激光激发的电子将能量传递给材料中的其他电子的机理。
