PECVD
研究院联合东南大学，针对n型异质结电池和组件的紫外稳定性进行了深度机理性的研究，开发了低紫外损伤连续PECVD
工艺，通过优化i1钝化层氢含量达33%(
a-Si0x:H)i2钝化层氢含量达
首创“低紫外损伤连续PECVD沉积”工艺团队开发低紫外损伤连续PECVD沉积技术(专利号已申请)，在界面层植入“氢原子防护网”：● 首创梯度氢含量设计：i₁层(a-SiOₓ:H)氢含量33% → i₂层
。作为国内光伏电池智能自动化设备领域的龙头厂商，江松科技主要从事高效光伏电池智能自动化设备的研发、生产与销售，产品覆盖扩散退火、PECVD、湿法制程等核心工序，2022年市场占有率位居全球第一。招股书
解决方案以突破性工艺打破效能边界，搭配EPD半边缘钝化、大产能叠舟PECVD及LPCVD等多项高性能核心工艺设备，为客户实现降本增效提供坚实保障。其中，新研EPD边缘钝化设备凭借“高钝化性能+低成本”双
高度集成化技术，将PECVD、LPCVD、PVD、ALD、扩散炉、退火炉等板式/管式设备有机融合，可提供覆盖TBC工艺所需的硼扩散/磷扩散、Poly、ALD、SiNx等关键设备，并针对客户研发需求及产线痛
叶继春在报告中指出，国内光伏产业已通过“基础理论-工艺开发-装备协同”模式实现TOPCon技术跨越。例如，管式PECVD技术路线通过温场优化、石墨舟寿命提升等工艺突破，将钝化性能提升至与LPCVD技术
持平，设备成本降低20%。叶继春强调，需加强原始创新能力，破解“集成创新易、原始突破难”的瓶颈。湖南红太阳光电提出的BC电池P区接触钝化方案成为焦点。其PECVD原位掺杂技术将P-Poly工艺时间压缩
已报道钙钛矿太阳能电池的文献中，缺陷钝化的材料和元素很少提及氢(H)，也基本没有悬挂键的概念，而对于晶硅电池的缺陷钝化基本上指的就是氢钝化，PECVD/ALD等沉积过程引入的氢元素在硅太阳能电池
太阳能电池中主要来自原子层沉积(ALD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)或低压化学气相沉积(LPCVD)等镀膜技术在沉积薄膜的过程中引入的源气体，其不同的沉积参数会显著影响氢的浓度和扩散行为。研究
气相沉积(PECVD)技术，在低温下制备高结晶度(63%)的p-nc-Si:H层，导电性比非晶硅提升1万倍。超低活化能：载流子跃迁能量从350 meV降至115 meV，促进能带间隧穿(BTBT
、一道新能等光伏行业龙头单位参与编制的《太阳能电池生产用管式PECVD石墨舟材料指南》SEMI标准经过全球投票获批发布，此次会议举行了标准证书颁发仪式。SEMI高级项目总监戚发鑫，SEMI中国光伏标准技术
月底实现产品试生产。张显武介绍，项目使用迄今为止单线产能最大、最先进的核心装备，包括大腔室设计的PECVD、PVD设备，实现新一代异质结电池技术的GW级产业化。10GW电池片项目整体建成投产后，将成
产品主要应用在光伏电池片生产的扩散、氧化及PECVD等生产工序中，起到承载功能。4月3日，艾能聚表示，近年主流电池片价格从2023年1月初0.80元/W下降至2025年3月26日0.31元/W，降幅达
PECVD技术产业化引领者，通威股份成功推动PECVD技术成为行业主流选择，市占率超50%。在技术创新与市场突破双重助力下，通威组件业务加速完善高端产能制造与营销服务网络，实现市场份额的持续扩张与出货结构
