PECVD

将TOPCon技术和210mm的电池技术融合在一起，形成了210 TOPCon，2023年将独创的矩形电池技术、大面积硼选择性发射极、背面反射器、基于PECVD的Poly-Si沉积技术，推出新一代N型

面有两个数据，一个是缺陷密度，是PECVD沉积a-Si：H层的Di最低，SiO次之。其次是接触电阻，Si：H和n+poly-Si的J均优于p+poly-Si，其中n poly-Si的接触电阻最低
升级动力来发展这个技术，因为TOPCon市场占有率最高。当然，TOPCon也有很多种方案，主要是三种：LPCVD、PECVD/PVD、PEALD，都不错，效果略有差异，有一些范围、绕度的问题，现在慢慢也

做的统计，2023年新增规模能够达到551GW。三、中来J-TOPCon2.0技术介绍TOPCon太阳能电池最关键的结构是隧穿氧化结构，主要有几种方式，包括LPCVD、PECVD以及PVD技术。中来最
介绍了，PECVD现在逐步取代了LP的产能。PECVD虽然也会产生绕度，但它的绕度非常容易被去除掉。中来采用的是PVD的物理沉积技术，它有自己独特的好处，原位掺杂、低温镀膜，工序更短。因为我们这个工艺

式PECVD、管式LPCVD、管式PEALD、管式ALD、管式Diff/Oxide/Anneal。板式设备：板式PECVD、板式Cat-CVD、板式RPD、板式PVD、板式PAR、板式ME。(PPT

订单高增。此外，截止三季度末，金辰股份首台量产微晶HJT PECVD设备已经成功交付下游客户，进行中试/量产级别验证。组件设备新增订单创历史新高，海外业务获长足发展，布局新型HJT 薄片化高效组件封装技术。

产业集群，将为行业和地方及国家做出贡献。在光伏行业从“技术、市场两头在外”到引领全球的发展过程中，技术扮演了至关重要的角色。无论是金刚线切割、激光SE、原子层沉积、PECVD镀膜，还是铜互连，任何一项

技术革新和产业发展，在TOPCON高效电池和HJT高效电池PECVD设备方面取得重大突破。现已拥有核心技术专利500余项，其中发明专利243项，并获得中国国家科技部火炬计划重点新产品等诸多荣誉。在光伏

持续聚焦高效光伏电池片高性能热制程和镀膜等关键核心工艺设备，其中热制程设备主要包括硼扩散、磷扩散、氧化及退火设备等，镀膜设备主要包括LPCVD和PECVD设备等。此外，拉普拉斯还拥有包括氧化、退火

，电流损失非常少，电池FF提升，对应TOPCon电池效率将有0.5%的提升。通威呼吁设备公司合作开发PECVD硼掺杂技术，共同致力于推动电池技术的发展。▶ 苏州晶洲装备科技有限公司 胡磊博士主流