四氯化硅

　　2009年6月2日，中硅高科承担的国家“十一五”科技支撑计划课题“大型三氯氢硅合成、提纯工艺技术与关键装置研究”，“高效加压还原炉系统研究”，“大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究”三个课题和

　　2009年6月2日，中硅高科承担的国家“十一五”科技支撑计划课题“大型三氯氢硅合成、提纯工艺技术与关键装置研究”，“高效加压还原炉系统研究”，“大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究”三个课题和

电子行业用甲硅烷产品。此前赢创已在德国设立了一个合资企业，专为太阳能电池板晶片生产多晶硅产品。在赢创四日市的生产基地，在生产甲硅烷的生产过程中还将制造出副产品四氯化硅，后者将会被进一步加工，用于塑料

相关产业，将产业链条不断做宽做长。目前，乐山硅产业已从多晶硅等初级产品向抛光硅片、芯片和集成电路光缆、电子元器件、太阳能板等下游产品延伸。 在实现产业可持续发展上，乐山成功攻克多晶硅主要副产物四氯化硅
的处理难题，不仅让四氯化硅等副产物经循环利用成为生产多晶硅的原料，还打造出一条多晶硅废物循环利用的产业链条。该市处理四氯化硅的项目——白炭黑项目已经竣工，四氯化硅通过技术处理变成白炭黑后，每吨的售价

，乐山的硅产业已经从多晶硅等初级产品向抛光硅片、芯片和集成电路光缆、电子元器件、太阳能板等下游产品延伸。硅产业发展，仅有产能是不行的。要实现产业的可持续发展，必须要攻克多晶硅生产主要副产物四氯化硅的处理
这一世界级难题--每生产1吨多晶硅，就会产生15吨左右的四氯化硅，如果处理不当，将会造成严重的后果。近年来，乐山在如何处理这一难题方面进行了积极探索。据介绍，近年来，乐山集中技术攻关力量，成功掌握了尾气

杂质技术，三氯氢硅加压精馏技术，四氯化硅热氢化技术，等离子预热启动硅芯技术，合成、还原、氢化尾气干法回收技术，原炉电气控制技术以及还原炉热能综合利用技术。 　　新光硅业多次参加国家级科技项目的研发
。2006-2008年间，新光硅业获得两项国家科技支撑计划课题：大型四氯化硅热氢化技术与装置研究和大型改良西门子法尾气回收工艺技术及装备，这两项课题已于2009年3月12日通过科技部组织的专家组评审

资企业的产学研联合体。中硅高科通过自主研发，在国内率先完成“12对棒、24对棒节能型多晶硅还原炉，四氯化硅氢化、还原尾气干法回收、副产物综合利用”等一系列多晶硅生产技术与装备，形成具有中国特色的

核心驱动力，几年来通过自主优化创新形成了7项拥有自主知识产权的核心技术，包括：湿氢除杂质技术，三氯氢硅加压精馏技术，四氯化硅热氢化技术，等离子预热启动硅芯技术，合成、还原、氢化尾气干法回收技术，原炉
电气控制技术以及还原炉热能综合利用技术。新光硅业多次参加国家级科技项目的研发。2006-2008年间，新光硅业获得两项国家科技支撑计划课题：大型四氯化硅热氢化技术与装置研究和大型改良西门子法尾气回收

绝大多数多晶硅生产厂家采用的是西门子法，我国也不例外。西门子法的生产流程实际上是一个化工过程，除原料要用到氯化氢、冶金级硅外，中间产品还有三氯氢硅、四氯化硅，降低成本的关键在于能否回收利用这些中间产品，从而
实现闭环生产。据统计，用西门子法每生产1千克多晶硅，将产生大约14千克的四氯化硅副产物，闭环生产的优势不仅仅在于可以重复利用这些副产物，而且在于可以大幅度地节省处理这些副产物所必须付出的环保成本。对

基础上，对氯氢化技术进行开发、研究，掌握了氯氢化技术。采用这一技术后，江苏中能基本可以实现零排放。在采用了氯氢化系统后，四氯化硅的回收问题得到解决，可以转换成TCS(三氯氢硅)，而这正是多晶硅的一种原料