表面钝化
电池片的目的。烧结过程中有利于PECVD工艺所引入的-H向体内扩散，可以起到良好的体钝化作用。烧结是一个扩散、流动和物理化学反应综合作用的过程。在印刷状况稳定的前提下，温区温度、气体流量、带速是烧结的
)，极大地加强了烧结炉的有机抽排能力。
3.1.2烧结炉灯管老化问题
对效率低的电池片进行EL检测后发现，正向EL图像表面发黑，怀疑灯管老化，达不到烧结温度要求。
对5线、6线和8线烧结炉烧结
%，面积仅0.25%。1991年日本三洋公司首次将本征非晶硅引入异质结电池结构，实现了优良的界面钝化，制备出效率为18.1%的电池，并将该结构的电池命名为异质结电池。异质结电池技术经过几十年的发展，电池
成本的又一条重要途径。
2异质结电池金属化方法
异质结电池的生产工艺主要包括非晶硅层沉积、导电膜沉积、表面金属化、低温烧结等过程。表面金属化则是异质结电池制备过程中最为关键的环节之一，不但要保证与硅
。 高效率 HIT电池独特的非掺杂(本征)氢化非晶硅薄层异质结结构，改善了对硅片表面的钝化效果，大降低了表面复合损失，提高了电池效率。据报道，Panasonic研发出的HIT电池实验室效率已达到25.6
串联电阻，提高填充因子;
(2)减少载流子复合，提高表面钝化效果;
(3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。
因此，SE技术处理过的电池相比传统太阳电池有0.3%的提升，SE技术跟
通过在金属栅线与硅片接触部位及其附近进行高浓度掺杂，而在电极以外的区域进行低浓度掺杂，既降低了硅片和电极之间的接触电阻，又降低了表面的复合，提高了少子寿命，使电池具有以下3点明显的优点：
(1)降低
膜对电池背表面进行钝化以提高电池转换效率。普通的PERC 电池只能正面发电，PERC 双面电池是将普通PERC电池不透光的背面铝换成局部铝栅线，实现电池背面透光，同时采用2.5 mm 厚透明玻璃
转换效率达到了19.1%，背面转换效率为18.1%。世界各国研究人员陆续在钝化、丝网印刷、掺杂扩散等技术方面取得进展，实现了双面光伏组件的工业化生产。
目前市场上的双面光伏组件主要有单晶 n型双面
摘要:随着晶体硅太阳电池技术的不断发展，硅片的厚度不断降低，电池表面钝化对提高太阳能电池转化效率变得尤为重要。本文介绍了表面钝化膜在晶体硅太阳电池中的应用，以及几种晶体硅电池表面钝化方法，包括
底，体钝化技术，多层减反膜技术、选择性发射极技术和细栅金属化技术等。其中选择性发射极(SE)和细栅金属化技术极大降低了电池表面复合损失，有效提高了PERC电池开路电压和电池效率。同时晶科特有的多层膜
相比，PERC电池的优势主要有两个方面：(1)内背反射增强，降低长波的光学损失;(2)高质量的背面钝化，这使得PERC电池的开路电压(Voc)和短路电流(Isc)较之常规电池有大幅提升，从而电池转化效率
镀膜的最优工艺参数。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量
电场作用下,电子加速并与气体分子碰撞,产生离化及中性基团,这些基团发生多种二次反应,反应物与衬底反应后吸附在衬底表面形成薄膜。
1.2PECVD法沉积氮化硅薄膜原理
非平衡等离子体的一个重要
基于自身硅片技术优势，通过不断地优化电池工艺，实现接近24%的最高电池转换效率，硅片选材与电池工艺设计尤为关键。单晶PERC电池的核心是钝化，硅片体内的杂质和硅片表面缺陷会对电池性能会造成负面影响，钝化
曲线采用常规太阳电池烧结温度曲线。结果如表1所示。
WCT120少子寿命测试仪的少子寿命测试结果为硅片的有效少子寿命，硅片有效少子寿命受载流子体寿命与载流子表面寿命的双重影响，SixNy的钝化
作用主要体现在体钝化效果上，Al2O3的钝化作用主要体现在表面钝化效果上。由于Al2O3的表面钝化效果只有经过热处理过程才能体现出来，所以能够以热处理前后少子寿命增加量来衡量Al2O3薄膜的钝化效果
