等离子体
摘要:利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积给定折射率的氮化硅薄膜,通过正交实验法对衬底温度、NH3流量和射频功率3个对氮化硅薄膜沉积速率影响较大的工艺参数进行全局优化和调整,得到了氮化硅
镀膜的最优工艺参数。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量
，涉及到了厂房布局、自动化匹配、整体工艺优化重点。
表：PERC电池工艺路线发展
背面钝化工艺
◎ 等离子体增强化学气相沉积法
等离子体增强化学气相沉积法是利用辉光放电的物理作用来激活粒子的
一种化学气相沉积反应，是集等离子体辉光放电与化学气相沉积于一体的薄膜沉积技术。在辉光放电所形成的等离子体场当中，由于电子和离子的质量相差悬殊，二者通过碰撞交换能量的过程比较缓慢，因此在等离子体内部没有
。在该电场中，电子撞向阴极，而正离子撞向阳极。若正离子的能量能使阴极游离出新的电子，辉光放电就转化为弧光放电，即形成电弧。由此可见，电弧是一种气体游离放电现象，也是一种等离子体。 从宏观来看，光伏系统
大学物理教学与实验中心、量子调控及应用研究中心、理论与计算物理研究中心。具有微纳光电、材料计算、量子物理、低维材料、软物质物理和等离子体等多个优势。 厦门大学能源学院 厦门大学能源学院是在
装备》项目，中来股份由此获得了由教育部颁发的科学技术进步二等奖，林建伟、夏文进同志也获得了教育部个人科学技术进步二等奖。 ∆获奖证书 该项目攻克了中等表面能等离子体改性四氟型太阳能背膜技术
来人类对自我的认知黑暗。人工智能在能源，这个传统而又支柱的领域，其落地方式在哪里?目前来看，区块链很有潜力。 (作者单位：中科院等离子体所)
及原子分子簇科学教育部重点验室。 学院下设大学物理教学与实验中心、量子调控及应用研究中心、理论与计算物理研究中心。具有微纳光电、材料计算、量子物理、低维材料、软物质物理和等离子体等多个优势突出且
时间式 ALD即双面氧化铝钝化等）、等离子体增强化学气相沉积PECVD（包括远程等离子PECVD、直接等离子PECVD等）及其他非氧化铝钝化体系，引领PERC技术多元化发展、加速光伏行业平价上网进程。作为
，包括原子层沉积ALD（包括空间区隔式ALD、基于加工时间式 ALD即双面氧化铝钝化等）、等离子体增强化学气相沉积PECVD（包括远程等离子PECVD、直接等离子PECVD等）及其他非氧化铝钝化体系。但
镀膜系统，LED领域的产品是ELEDE系列电感耦合等离子体刻蚀机。自2009年进入太阳能领域以来，以其强势的技术研发团队和经验，在短时间内，顺利实现PECVD的量产化，达到了国籍水平，也填补了国内空白
PVSEC）期间，推出新型等离子体化学气相沉积（PECVD）垂直镀膜设备VCS 1200，该设备能对晶体硅太阳能电池进行正面与背面的双面镀膜。在等离子体增强化学气相沉积过程中对电池进行钝化对于硅基
