等离子体

上成本最高的部分称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统用在硅异质结(SHJ)技术上成为可能，并且最近已经由Hevel LLC实现。 SHJ太阳能电池的简单结构，结合其高效率和低温处理的优势，使
调整a-Si:H膜性质来实现。实际上，a-Si:H层通常是采用PECVD方法在接近200℃温度下的纯硅烷或硅烷氢混合物中的平行板电容耦合等离子体放电进行生长的。表面钝化的最关键工艺参数似乎是氢硅烷气体

相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积(ALD)或等离子体增强化学沉积(PECVD)。 面对指控，隆基、晶科均持反对态度

是在漂浮的等离子体中暂停反应，这样极端的热量就不会接触到腔室，研究人员认为这一过程可以通过使用高功率磁铁来实现。 大量报道认为，人类要用上核聚变能源，还需要30年时间，但麻省理工学院的一个研究小组
，获得了意大利能源巨头埃尼(Eni)的5000万美元投资。 中国在核聚变研究领域也已经处于世界前沿： 2018年，我国大科学装置人造太阳实现等离子体中心电子温度首次达到1亿度，获得的多项实验参数

钝化技术方面也具有重要应用。今年5月，微导在全球首次推出了ZR4000X2等离子体增强的PE-ALD设备平台以及ALD隧穿氧化硅工艺，可以在保证表面钝化的基础上达到最佳的隧穿层均匀性，确保电流收集均匀

。 科学家们开发出的这一优化纳米传感器，其检测氢泄漏过程中产生的等离子体的能力，通过包裹在套件周围的塑料屏蔽罩得到了增强。当传感器中的金属纳米粒子被照亮并捕获可见光时，就会产生等离子体。通过对塑料和

已进入样机调试阶段;自动化设备的研发也向大产能、高度自动化、集成化方向发展。 在其他新兴领域，用等离子体淀积石墨的方式来制造锂离子电池负极片的样机也进入调试阶段。公司率先布局新技术工艺研发制造，且

一体化，同时采用PLC流延切线涂覆工艺、常压下等离子体处理与化学接枝技术，在制造设备上坚持自主创新和集成创新，自主研发并推出了FFC双面涂覆型背膜、TFB创新型单面复合单面涂覆背膜、全系列透明(网格)背膜

研发了FFC氟碳涂料，工艺技术实现了胶膜一体化，同时采用PLC流延切线涂覆工艺、常压下等离子体处理与化学接枝技术，在制造设备上坚持自主创新和集成创新，自主研发并推出了FFC双面涂覆型背膜、TFB创新

研发了FFC氟碳涂料，工艺技术实现了胶膜一体化，同时采用PLC流延切线涂覆工艺、常压下等离子体处理与化学接枝技术，在制造设备上坚持自主创新和集成创新，自主研发并推出了FFC双面涂覆型背膜、TFB创新

。 公司的产品包括单/多晶制绒设备、管式扩散氧化退火炉、湿法刻蚀设备、管式等离子体淀积炉、智能自动化设备等五大产品系列。公司不仅可以为客户提供晶体硅高效电池生产设备，也提供晶体硅电池交钥匙工程系统解决方案