等离子体

非晶硅薄膜太阳能电池具有生产成本低、适于大批量生产、高温性能好、弱光响应好、应用前景广阔的特点。 与此同时，一种生产薄膜太阳能电池的关键设备等离子体增强型化学气相沉积设备由上海理想能源设备(上海)有限公司

金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ALD)氧化铝与等离子体化学气相沉积(PECVD)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。背面采用上述TOPCon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，PECVD沉积
、等离子体辅助氧化(N2和O2混合气氛)、湿化学方法氧化(硝酸热氧化、盐酸热氧化)、高温热氧化(Ar与O2混合氛围下快速热氧化、超高真空热氧化)、高温中性氧原子等离子体氧化、场诱导阳极氧化等

点上。激光器激光轰击，在样品上产生小深坑，消耗样品让等离子体气流过样品表面，再经一导管导入等离子炬，样品在焰炬中电离，通过质谱仪可以对样品微小区域进行分析。 为了降低生产过程及硅片对实验的干扰，每类

，centrotherm 的激光刻蚀氧化膜SE电池交钥匙工程。 四、湿法腐蚀重扩散层/等离子体刻蚀重扩 特点：湿法可用氢氟酸和硝酸体系或强碱，将暴露的重扩散层腐蚀成浅扩散层。要求耐腐蚀浆料。干法等离子体，用四

、中国工程院院士、冶金法太阳能级多晶硅产业技术创新战略联盟理事长、上海普罗新能源有限公司总裁、爱国志士闻一多先生的堂侄，于2010年逝世，享年74岁。 1999年当选为中国工程院院士，长期从事等离子体
表面工程技术和界面研究，主要研究耐高温防护层和纳米多层膜电磁功能材料，电弧等离子体技术及其在表面防护上的应用、卫星回收天线耐高温隔热涂层均获1977年辽宁省重大科技成果奖; 返回地面式人造卫星、中速率遥测

等离子体物理学的早期先驱。IEEE PVSC官网显示，过去35年里，从第一篇论文《通过区域熔融结晶形成硅吸收器》(1982年)到最近关于光谱分裂实现超高效模块的光学技术研究，Harry Atwater

研究者通过ALD技术与纳米技术研制的黑色电池是一个不错的例子。纳米结构的制备是通过等离子体刻蚀完成的，这可以极大地削弱光线的反射。此外，ALD方式制备出恰当的钝化薄层可以使表面层的载流子复合减少

光吸收。尽管有些光吸收可能来自金属纳米微粒本身，我们认为Ag纳米点是有效地增强了a-Si:H膜的光吸收。吸收的增强可能与Ag纳米结构的等离子体增强光散射有关。入射光以a-Si:H光活性层的陷波波导模式被
共振散射，通过衬底上Ag纳米点与表面等离子体的相互作用，显著增加了光在a-Si:H层中的光学路径。 总之，我们成功地用基于AAO模板淀积在玻璃衬底上制作了Ag纳米点阵列。玻璃上Ag纳米点阵列的存在提高了a-Si:H光活性层在长波长区的光吸收。

。 EnSol公司此次未公开纳米粒子的成分。不过，莱斯特大学的宾斯教授在接受《日经电子》采访时介绍，纳米粒子不是(称为量子点的)GaAs等半导体粒子，而是金属粒子，还可将其表面等离子体共振(SPR)效果用于

。 Fraunhofer研究所采用N型FZ硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ALD)氧化铝与等离子体化学气相沉积(PECVD)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。背面
氧化层的制备。目前研究人员探索出一系列超薄氧化层的制备方法，如紫外臭氧氧化、等离子体辅助氧化(N2和O2混合气氛)、湿化学方法氧化(硝酸热氧化、盐酸热氧化)、高温热氧化(Ar与O2混合氛围下快速热氧化