等离子体

正反面制绒 02、等离子体增强化学气相(PECVD) 沉积正面本征非晶硅薄膜( i-a-Si:H)和 n型非晶硅薄膜( n-a-Si:H)， 沉积反面沉积本征非晶硅膜( i-a-Si:H )和p型

如下： 01、制绒清洗机 ： 电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相(PECVD) 沉积正面本征非晶硅薄膜( i-a-Si:H)和 n型非晶硅薄膜( n-a-Si:H)， 沉积反面沉积本征

。HWCVD 沉积基于热丝对反应气体的热分解，无等离子体对基底的轰击过程，有助于形成高质量、突 变明显的氢化非晶硅/晶体硅界面，HWCVD 能够形成高密度氢原子从而提升钝化效果。此外，HWCVD
为收集光生载流子并将其输送到金属电极上，导 电性好、透过率高是 TCO 薄膜需要具备的关键特性。在工艺方面，目前主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应 等离子体沉积法)两种方式，PVD 利用

步工艺流程，但设备投资过高 ◼ 电池生产所需材料昂贵 主流工艺流程 整线设备：(1)制绒清洗设备(2)板式等离子体增强化学气相沉积设备(3)反应式等离子体镀膜设备(4

。 4.2 电池片设备生产厂商 捷佳伟创 捷佳伟创是国内光伏电池片生产设备龙头。公司的产品包括单/多晶制绒设备、管式扩散氧化退火炉、酸抛光及碱抛光设备、管式等离子体淀积炉、智能自动化设备、全自动

156.75156.750.25mm或1571570.25mm，厚度不低于200微米。除此之外，电池片还必须经过等离子体增强，化学蒸汽沉积氮化硅作为防反射涂层。 参与投标的制造商电池片的年产能不能低于100MW，而且必须在过去的两年

156.75156.750.25mm或1571570.25mm，最小厚度为200微米。该设备还必须具有经过等离子体处理的化学气相沉积氮化硅作为抗反射涂层。 为了符合条件，制造商应具有至少100MW的年晶体硅太阳能电池

。 为此，中广核已经探路了至少两年。 黄晓飞透露，目前，中广核电子束治理工业废水单体项目，正在试运行当中。 还有等离子体危废处理技术。 中广核取得的最新进展包括：在江苏无锡建设的首个等离子体技术

面前的一道沟壑。 为此，中广核已经探路了至少两年。 黄晓飞透露，目前，中广核电子束治理工业废水单体项目，正在试运行当中。 还有等离子体危废处理技术。 中广核取得的最新进展包括：在江苏无锡建设的
首个等离子体技术商业化项目已经全面进入试运营，正为国内高毒、高危险废物的处置探索新路。 这与2018年初，中广核曾给自己定下的市场目标，形成契合。 经济观察网记者从中广核获悉，两年前，中广核的发展

。 试运营 高毒、高危险废物的处置，依旧是横亘在能源企业面前的一道沟壑。 为此，中广核已经探路了至少两年。 黄晓飞透露，目前，中广核电子束治理工业废水单体项目，正在试运行当中。 还有等离子体危
废处理技术。 中广核取得的最新进展包括：在江苏无锡建设的首个等离子体技术商业化项目已经全面进入试运营，正为国内高毒、高危险废物的处置探索新路。 这与2018年初，中广核曾给自己定下的市场目标，形成