等离子体

，中广核参与加入环保机器人的研发可以说填补了国内空白。值得一提的是，本次展会上中广核除了带来我国自主研发、具备完全自主知识产权的三代核电技术华龙一号之外，还将带来等离子体气化熔融技术，该技术是中广核自主
化、稳定化处理以及资源化的目标。该技术具备自主知识产权，获得第十八届中国专利优秀奖、中国广核集团科技进步一等奖。目前，江苏无锡已开展相关应用项目建设，将新建2套9900吨/年等离子体气化熔融生产线，其

该项专利外，公司与微导纳米不存在其他共有专利、资产的情况，双方在资产、人员、财务等方面均各自独立。 该项专利主要用于针对电池技术的工艺流程，用原子层沉积(ALD)以及等离子体原子层(PEALD)沉积

废水处理工艺有效结合，可高效降解常规手段难以处理的污染物。另外，中广核还将展示自主研发的和融等离子体气化熔融技术，利用等离子体气化熔融技术瞬间产生的上万度高温对废物进行熔融裂解处理，将有机物彻底分解成

海归博士及欧美设备专家，团队曾研发出首台高产能水平插片式低压扩散氧化炉和立式水平插片式等离子体化学气相沉积设备，拥有150余项专利，其中发明专利近40余项，参与了国家级半导体及光伏高端装备领域科技项目2

领域的高端设备供应商，主要从事太阳能光伏电池、光电子、集成电路制程、封测领域的关键设备及相关辅助设备研发、制造和销售。 目前，理想晶延已经推出了原子层沉积(ALD)设备、等离子体增强化学气相沉积

。 中国自行研制的超导托卡马克受控核聚变装置(EAST)与美国NIF实现聚变的方式不同。目前托卡马克实现了磁束缚等离子体和中心温度1亿度，下一个目标是维持束缚，且达到1亿度维持1000秒。 位于法国南部的
通力合作ITER。ITER装置主机最重要部分之一的PF6线圈，由中科院合肥研究院等离子体所承担研制并于近日正式交付，为ITER计划2025年第一次等离子体放电的重大工程节点奠定了重要基础。 (四)高性能

工艺为 RCA 清洗或臭氧(O3)清洗。本环节的目的是去除机械损伤层、降低表面反射率、提高表面清洁度。 非晶硅薄膜沉积：常用的工艺包括等离子体增强化学的气相沉积法(PECVD)与热丝化学气象沉积
(HWCVD)，其中本征非晶硅薄膜是 HIT 电池表面的钝化层，沉积后需要掺杂膜层来形成发射极和背表面场。 TCO 薄膜沉积：常用的工艺是磁控溅射(PVD)和反应等离子体沉积(RPD)，沉积非晶硅薄膜后

放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。PECVD主要由工艺管及电阻加热炉、净化推舟系统、气路系统、电气控制系统、计算机控制系统、真空系统6大部分组成。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源
，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD

带电子; 2. 导带电子通过雪崩电离和焦耳加热吸收能量形成等离子体; 3. 等离子体通过电子声子耦合将能量传递给材料品格; 4. 品格被加热材料熔化、升华; 5. 物质的热扩散和声声冲击波引起

如下： 01 制绒清洗机 ： 电池正反面制绒 02 等离子体增强化学气相(PECVD) 沉积正面本征非晶硅薄膜( i-a-Si:H)和 n型非晶硅薄膜( n-a-Si:H)， 沉积反面沉积