LPCVD

。　　一是以进入智能电网、量测技术、能效管理等领域为标志，实现了产品结构由生产高低压电器和成套输配电设备向提供全面解决方案的方向转型。　　二是以首台“中国造”太阳能薄膜制造装备LPCVD、PECVD,在

能源设备有限公司，已经成功地研制出低压化学气相沉积设备(LPCVD)、等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)，填补了光伏电池高端设备国产化的空白，其成本也随之降低20%。辅之技术的创新，我们的

、国产化的高端薄膜电池生产核心装备（PECVD、LPCVD），成本上仅为国外进口同类设备的1/3。在研发投入上，南存辉话语间显得信心十足。正泰就光伏产业技术研发上的投入占到了相关产品销售额的10

。从这一点来看，国家提出将高端装备制造业作为战略性新兴产业具有深远意义。他举例说道，正泰研制成功的、国产化的高端薄膜电池生产核心装备（PECVD、LPCVD），成本上仅为国外进口同类设备的1/3。　　在研发

首届浙江省政府质量奖；12月，理想能源成功研制出低压化学气相沉积设备（LPCVD）、等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD），填补了光伏电池高端设备国产化的空白；正泰测控技术股份有限公司落户杭州物联网产业园；在温州开工建设300兆瓦非晶微晶薄膜太阳能电池及500兆瓦晶硅太阳能电池生产线。

for fluorine-doped SnO2 (SnO2:F) coating and offline LPCVD for ZnO coating.

。欧瑞康太阳能TCO 1200是全自动、高产能、低压化学气相沉积（LPCVD）系统，供新型可调透明导电氧化物（TCO）薄膜的沉积之用。TCO 1200处理工艺技术使得薄膜形态和导电性可以调整，从而为光伏
吸收层匹配得到理想参数，同时采用了创新的氧化锌薄膜成分。氧化锌成分相比先前的TCO解决方案提供了更好的吸光效果。TCO 1200 LPCVD制造系统沉积一个单层，通过很高的雾光散射、很低的薄膜电阻和卓越

可行的清楚决心。” 欧瑞康太阳能TCO 1200是全自动、高产能、低压化学气相沉积（LPCVD）系统，供新型可调透明导电氧化物（TCO）薄膜的沉积之用。TCO 1200处理工艺技术使得薄膜形态和
导电性可以调整，从而为光伏吸收层匹配得到理想参数，同时采用了创新的氧化锌薄膜成分。氧化锌成分相比先前的TCO解决方案提供了更好的吸光效果。TCO 1200 LPCVD制造系统沉积一个单层，通过很高的雾光

研究，并提出了很多方法。目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺。此外，液相外延法（LPPE）和溅射沉积法也可用来制备
。但研究发现，在非硅衬底上很难形成较大的晶粒,并且容易在晶粒间形成空隙。解决这一问题办法是先用 LPCVD在衬底上沉炽一层较薄的非晶硅层，再将这层非晶硅层退火，得到较大的晶粒，然后再在这层籽晶上沉积厚

上制成的，这种硅片从提拉或浇铸的硅锭上锯割而成。 上述方法实际消耗的硅材料更多。为了节省材料，目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气
保护气氛下反应生成硅原子并沉积在加热的衬底上，衬底材料一般选用Si、SiO2、Si3N4等。但研究发现，在非硅衬底上很难形成较大的晶粒，并且容易在晶粒间形成空隙。解决这一问题办法是先用 LPCVD在