LPCVD

，成功推出了具有自主知识产权的生产LED外延片的关键设备MOCVD、生产太阳能薄膜电池的关键设备PECVD和LPCVD等高端装备，其性能赶超国外同类设备，售价及综合使用成本降低30%以上。由于一直以来
，PECVD和LPCVD等高端装备一直列于重大装备进口免税目录中，享受零关税的优惠待遇。这使国内高端装备企业在与占垄断地位的国外同行的竞争中处于劣势，阻碍了高端装备的国产化进程。为有效支撑能源生产与消费

。 非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法有很多，其中包括反应溅射法、PECVD法、LPCVD法等，反应原料气体为H2稀释的SiH4，衬底主要为玻璃及不锈钢片，制成的非晶硅薄膜经过不同的电池工艺过程可分别制得单结

光伏产业的整个经济优势。我们做了很多创新，我们抓住了里面的龙头就是高端装备国产化，我们有MOCVD、LPCVD、PECVD，我们有很多创新做法，目前在全球领域被工人的是第一代的晶硅，单晶和多晶，再加上
，现在在做多晶的效率提升，这台设备，我的性能可以和德国的设备媲美。下面是LPCVD，这些以前都是被垄断我们在四个方面在推叫做系统解决方案，叫卖服务，然后做高端装备国产化，带动整个的技术提升，这才叫真正

得以在创办不到两年的时间内就研制成功非晶/微晶叠层硅基薄膜太阳能电池制造设备：低压化学气相沉积(LPCVD)设备、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备，并已开始量产。首批设备经过客户出厂前测试和

国家863项目（如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等）及相关的国家重点项目等。主要产品：氧化扩散炉系列、LPCVD系统、PECVD系统、HVPE系统、MOCVD系统、RTP快速热处理、气瓶柜、半导体
，优良的服务，优惠的价格竭诚为新老客户服务公司主要产品有：4"-8"扩散炉系列、真空炉系列、LPCVD系列、扩散炉炉体系列、温度控制器系列、链式隧道炉系列及台湾LPCVD、THERMCO、ASM

发展路线，加强超前谋划和技术装备研发。如在卷对卷薄膜太阳能电池领域，空间电源所已建成柔性薄膜电池卷对卷中试生产线；多层非晶硅、微晶硅领域，理想能源开发的PECVD和LPCVD设备性能达到国外一流

方法。目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺。此外，液相外延法（LPPE）和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。 化学气
上很难形成较大的晶粒，并且容易在晶粒间形成空隙。解决这一问题办法是先用 LPCVD在衬底上沉炽一层较薄的非晶硅层，再将这层非晶硅层退火，得到较大的晶粒，然后再在这层籽晶上沉积厚的多晶硅薄膜，因此

阶段性进展。1.自主创新取得丰硕成果。自主研发成功非晶微晶双结薄膜太阳能电池商用关键设备LPCVD和PECVD、压力容器、蒸发器、堆内构件、控制棒驱动机构、核电主泵、U型管、核电大锻件、核级泵阀

环保的绿色能源解决方案。公司产品非晶硅薄膜电池组件，主要的生产技术包括：使用LPCVD沉积前透明氧化物电极与背接触电极；使用PECVD技术沉积非晶硅薄膜；通过P1、P2与P3激光划刻技术把非晶硅

电池组件，主要的生产技术包括：使用LPCVD沉积前透明氧化物电极与背接触电极;使用PECVD技术沉积非晶硅薄膜;通过P1、P2与P3激光划刻技术把非晶硅电池分成串接的子电池。Solar Frontier