索比光伏网讯:PECVD设备为了降低晶体硅太阳电池的效率，通常需要减少太阳电池正表面的反射，还需要对晶体硅表面进行钝化处理，以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。
硅的折射率为3.8，如果直接将光滑的硅表面放置在折射率为1.0的空气中，其对光的反射率可达到30%左右。人们使用表面的织构化降低了一部分反射，但是还是很难将反射率降得很低，尤其是对多晶硅，使用各向同性的酸腐蚀液，如果腐蚀过深，会影响到PN结的漏电流，因此其对表面反射降低的效果不明显。因此，考虑在硅表面与空气之间插一层折射率适中的透光介质膜，以降低表面的反射，在工业化应用中，SiNx膜被选择作为硅表面的减反射膜，SiNx膜的折射率随着x值的不同，可以从1.9变到2.3左右，这样比较适合于在3.8的硅和1.0的空气中进行可见光的减反射设计，是一种较为优良的减反射膜。
PECVD法按沉积腔室等离子源与样品的关系上可以分成两种类型：直接法：样品直接接触等离子体，样品或样品的支撑体就是电极的一部分。间接法：或称离域法。待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名光伏PECVD设备企业，仅供参考。
1、中国电子科技集团公司第四十八研究所
1964年5月24日，塬国防科委第14研究院北京新工艺研究室和公安部湖南实验工厂合并组建了长沙半导体工艺设备研究所，即中国电子科技集团公司第48研究所。48所技术力量雄厚，专业门类齐全，拥有设计、制造、总装、测试等系统平台，是我国主要以集成电路、半导体照明、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和SOI材料等技术为主的骨干科研生产机构，是我国唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商、以MOCVD设备为主的光电子装备供应商，是我国最大的太阳能光伏制造装备供应商、最大的磁性材料制造装备供应商。
48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、PECVD等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%以上，氮气氛保护推板窑批量供应浙江横店东磁股份有限公司、浙江天通控股股份有限公司等上市企业。同时，48所利用自身的装备和工艺优势，不断开发具有自主知识产权的装备上伸下延产品，成为了国内最大的太阳能光伏产品、高档磁性材料、新型储能材料、特种传感器、SOI材料及高性能氮化钒添加剂的制造企业和国家科技部、北京市太阳能光伏电池示范生产单位及湖南省太阳能光伏产业、磁性材料产业和新型储能材料产业的牵头单位。
2、北京七星华创电子股份有限公司
北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”)传承五十多年电子装备及元器件的生产制造经验，于2001年9月成立。公司坐落于中关村高科技产业开发区“电子城科技园”，是一家以集成电路制造工艺技术为核心，以大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主营业务，集研发，生产，销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。
七星电子是中国电子专用设备工业协会理事长及中国电子元件协会副理事长单位，拥有优秀的技术研发团队，具备一流的生产环境，加工手段和检测仪器。公司是中国最大的电子装备生产基地和高端的电子元器件制造基地，与美国、法国、日本及韩国等多家国际知名公司有着长期的合作交流。
3、深圳丰盛装备股份有限公司
深圳丰盛装备股份有限公司成立于2010年1月，注册资金5000万元，由一批一流的资深光伏设备专家创办，其核心团队成员多具有十五年以上的从业经历，曾参与了国内市场一半以上扩散炉和PECVD设备的研发、生产及调试工作，有深厚的太阳能光伏设备及工艺研发生产经验，熟悉晶体硅太阳电池制造工艺相关设备国际技术发展的最新动向，和业内众多知名企业有长期紧密的合作关系，深知国内客户的技术发展需求。
2010年丰盛装备凭着良好的客户美誉、业内领先的技术实力和全方位的综合优势，实现了当年研发、当年进入市场、当年批量生产的行业奇迹，用户遍布全国。
4、理想能源设备(上海)有限公司
理想能源设备(上海)有限公司致力于非晶/微晶叠层硅基薄膜太阳能电池制造关键设备和发光二极管制造设备的研发和生产，为薄膜太阳能电池制造厂商和LED制造厂商提供性能更先进的、价格更低廉的高端制造设备。公司于2009年8月在上海浦东新区注册成立。团队主要成员来自中国、美国、瑞士、日本、韩国、新加坡的国际知名半导体设备制造企业，专业齐全、经验丰富、长于创新、精于管理。
完整的阵容和强大的开发能力，使公司得以在创办不到两年的时间内就研制成功非晶/微晶叠层硅基薄膜太阳能电池制造设备：低压化学气相沉积(LPCVD)设备、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备，并已开始量产。首批设备经过客户出厂前测试和客户生产线验证，各项指标达到世界先进水平。金属有机物化学气相沉淀(MOCVD)设备的研制已经在公司全面展开。产品将同样具有国际市场上最好的性能和最高的性价比。
理想能源设备公司提供高性能、高产能、高可靠性和高稳定性、低售价的大规模生产用薄膜太阳能电池制造设备和LED制造设备，公司愿意和产业链上下游的同仁们携手真诚合作实现共赢，为早日实现节能减排和太阳能发电平价上网而共同努力。
5、湖南博大新能源科技有限公司
湖南博大新能源科技有限公司是在湖南博大电气有限公司的基础之上扩张新注资的高新技术企业，是集科研开发、生产、销售太阳能电池片工艺制造设备为一体的专业厂家。公司传承了湖南博大电气有限公司多年的设计、制造电气成套设备、数字化试验站、直流电源设备、自动化控制设备及机械生产制造的经验。自2009年起，公司着力发展光伏设备制造，以雄厚的设计力量为支柱，以先进的制造工艺为保证，在中国光伏设备行业树立了良好的市场形象。
公司不断创新，吸收、引进国外先进技术，研究、开发各类太阳能电池片工艺制造设备、自动控制系统和专用控制器。产品涉及新能源、电气、机械等各行业。公司大量引进国外的最新控制理念及控制组件，实现电气传动，工艺流程的精密控制，以及各种非标控制系统的设计制造及现场安装调试能力。
6、青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
青岛赛瑞达电子装备股份有限公司于2005年成立，是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家，是中国电子工业基础装备的重点骨干企业，属于国家高新技术企业。公司于2005年通过了ISO9001/2000质量管理体系认证，于2012年6月完成股份制改造，现有生产用地100亩，建筑面积4万余平方米，注册资本3100万。
公司主要产品有：半导体技术专用工艺设备，电子元器件专用工艺设备，集成电路工艺设备，太阳能电池片专用工艺设备，LED工艺设备，砷化镓工艺设备，纳米材料工艺设备，磁性材料工艺设备，航空航天及国家军工单位专用的工艺设备，产品种类多达两百多个，各种专利及著作权达四十多项。
7、南京华伯仪器科技有限公司
南京华伯仪器科技有限公司是全球自动化和核心高端装备主要供应商之一，公司有二十多年产业经验，拥有多行业认可的自动化、装配及交钥匙项目领先技术平台。
产品及服务有：适合于半导体、光伏行业的高温氧化扩散设备、PECVD镀膜设备、湿法清洗设备、硅片自动装篮机、硅片自动倒篮机、硅片石墨舟上下料自动化设备、石英舟自动装卸舟系统、硅片前后清洗设备自动化上下料机、组件焊接设备、自动流水线等;适合于实验室的：高端实验室装备、高纯流体工艺系统、制药用水分配系统;适合于电池制造的精密涂布设备。
8、济南力冠电子科技有限公司
济南力冠电子科技有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业厂家，产品广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池、LED生产设备, 材料热处理设备，晶体生长设备等领域。
公司既可提供微细加工生产过程的全套设备，又可独立提供其中的单一设备，还可进行这些设备的各种工艺实验。目前的产品主要有：氧化/扩散炉、低压化学气相沉积设备、RTP快速退火炉、LED合金/活化炉、真空退火炉、真空烤盘炉、砷化镓晶体生长炉VGF/VB(HGF/HB) 、区熔炉、液相外延炉、蓝宝石退火炉、锑化镓晶体(LEC)单晶炉、气氛炉、马弗炉、真空炉、太阳能闭管软着陆扩散炉，太阳能管式PECVD(等离子体增强化学气相沉积设备)、石英脱羟炉、真空钎焊炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(PECVD)、干法刻蚀设备、非标真空设备等。
9、上海曙海太阳能有限公司
上海曙海太阳能有限公司地处上海南汇工业园区，是专业从事制造、销售硅薄膜太阳能(光伏)电池及发电系统整合与安装的高新技术企业。
曙海集多年的经验和技术于一身，结合光伏领域的发展趋势，自主研发了新一代高性价比、高产能、高可靠性的硅薄膜光伏组件规模化生产线。其核心专有设备：新一代等离子强化型化学气相沉积(PECVD)系统和磁控溅射(PVD)系统拥有完全自主知识产权。对提高硅薄膜光伏组件的光电转换效率、提高组件的成品率和质量稳定性、降低组件的生产成本、提高客户产品在国际市场的利润空间等方面具有绝对的竞争优势。
10、青岛微弘设备技术有限公司
青岛微弘设备技术有限公司是集研发设计、生产制造、经营销售于一体，专业从事半导体、太阳能、电池片、LED、集成电路、IC器件、新材料等工艺设备的生产厂家。服务于新能源、新材料、环保、航天航空及军工产业。
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