离子刻蚀设备
( 制绒- 扩散-刻蚀- 正面PECVD- 丝网印刷) 制作，另外100片按照前文所述的PERC 电池流程制作;同时，保证在电池片制作过程中都选用同种设备进行，以减小误差。制作结果如表1 所示，PERC
，PERC) 电池是一种发射极与背面双面钝化的太阳电池。通过ALD技术，在电池片背表面沉积一层Al2O3，然后再使用等离子化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical
绒、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素
缺陷检测。EL测试的图像亮度与电池片的少子寿命(或少子扩散长度)、电流密度成正比，太阳电池中有缺陷的地方，少子扩散长度较低，从而显示出来的图像亮度较暗。电池制造过程，一般包括制绒、扩散、刻蚀、PECVD
载流子复合，提高表面钝化效果;
(3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。
目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光PSG掺杂法由于
其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业
、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素来源于印刷
、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序。每道工序过程中，由于存在人为因素、环境因素及机械不稳定等因素，造成硅片的一些缺陷及污染等，从而影响电池片的性能。因此黑斑片的出现，也许是硅片原材料的问题
》。 该所已建成一条相对完整的晶体光伏电池中试线(可年产光伏组件50kW/年)，包括：高纯水制备、半导体清洗、扩散、氧化、光刻、等离子刻蚀、PECVD化学汽相沉积、烧结、真空蒸发镀膜、RF溅射镀膜和离子
专项，实现了我国高端集成电路装备的技术提升，同时积极向节能环保、新能源等新兴战略产业拓展。北方微电子在集成电路领域的产品涉及8英寸和12英寸等离子硅刻蚀机，太阳能领域的产品为ESSIND平板式PECVD
镀膜系统，LED领域的产品是ELEDE系列电感耦合等离子体刻蚀机。自2009年进入太阳能领域以来，以其强势的技术研发团队和经验，在短时间内，顺利实现PECVD的量产化，达到了国籍水平，也填补了国内空白
（反应离子刻蚀法Reactive Ion Etching，RIE）和湿法黑硅技术（金属催化化学腐蚀法metal Catalyzed Chemical Etching，MCCE）等都可以解决金刚线切割的
。2004年，日本京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术。在2008年，以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广干法黑硅RIE技术。湿法黑硅方面，早在2006年，德国的Stutzmann小组即提出
（反应离子刻蚀法ReactiveIonEtching，RIE）和湿法黑硅技术（金属催化化学腐蚀法metalCatalyzedChemicalEtching，MCCE）等都可以解决金刚线切割的多晶硅片
京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术。在2008年，以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广干法黑硅RIE技术。湿法黑硅方面，早在2006年，德国的Stutzmann小组即提出了金属催化化学腐蚀的
检测测试仪器生产。重点引进全自动大面积等离子增强化学气相沉积（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备
光伏产品和检测测试仪器生产。重点引进全自动大面积等离子增强化学气相沉积(PECVD)、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃
