离子刻蚀设备

、层压设备等 薄膜电池板生产设备： 非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化 电池DSSC生产技术及研究设备 半导体生产设备： 全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜

薄膜太阳能电池精密制造的领军企业，目前已获授权及申请专利20余项。大正微纳的首席科学家宫坂力教授（日籍）为钙钛矿太阳能电池的发明人，并获得2017年诺贝尔化学奖提名。公司着力于精密狭缝涂布设备的开发，涉及领域涵盖钙钛矿薄膜的精密涂布制备、全固态锂离子电池浆料的涂布以及超薄功能薄膜的涂布等。

半导体生产设备： 全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法设备、过程检测等设备 B. 光伏电池： 光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商、聚光电池等

芯片研发和规模制造能力。进一步提升先进封装测试产业规模。3．装备和材料。加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶

HJT已经超过24%，但距极限效率仍有一定差距，效率提升的空间更大; 2) 从工艺角度看，PERC目前最成熟， TOPCon需要在 PERC 产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而
，是未来2-3年具备性价比的技术路线; 2)HJT电池技术作为平台型技术，不仅工艺流程简化，还能与IBC和钙钛矿等形成叠层电池，极限效率有望超30%，随着设备和材料国产化实现大幅降本，预计将成为下一代

已经超过24%，但距极限效率仍有一定差距，效率提升的空间更大; 2) 从工艺角度看，PERC目前最成熟， TOPCon需要在 PERC 产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而HJT
电池; ②光刻技术：具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大; ③离子注入方式：具有控制精度高、扩散均匀性好等特点，但其设备昂贵，易造成晶格损伤; ④激光掺杂：工艺简单，可常温

板生产设备： 非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化 电池DSSC生产技术及研究设备 半导体生产设备： 全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法

水平，推动我国光伏技术进步及成本快速下降，助力全面平价上网。 电科装备始终致力推动光伏装备国产化，先后研制管式PECVD、平板PECVD、扩散氧化设备及等离子体刻蚀机等设备，在成套高端关键制造工艺