离子刻蚀设备
工艺，因而增加了工艺难度以及生产成本。激光刻蚀具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大。离子注入具有控制精度高、扩散均匀性好等特点，但其设备昂贵，且容易造成晶格损伤。参考爱旭股份的
、激光刻蚀、离子注入三种方法，由此也产生了三种不同的子路线，每种子路线所对应的工序多达14步、12步和9步。资料显示，工艺成熟的丝网印刷虽然表面看起来工艺简单，具有显著的成本优势。不过，由于其容易造成
电池表面缺陷，掺杂效果难以控制，需要经过多次丝网印刷和精确的对准工艺，因而增加了工艺难度以及生产成本。激光刻蚀具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大。离子注入具有控制精度高、扩散均匀
喷头，压电印刷设备)、气相沉积法(磁控溅射PVD, 反应式等离子体沉积RPD，真空蒸镀等设备)等薄膜制备设备正在同步发展。钙钛矿产业，谁在推进?协鑫纳米、纤纳光电等多家公司竞技钙钛矿光伏电池
设备较贵，约为 PERC 设备的 3 倍。PERC 电池工艺流程包括清洗制绒，磷扩散，激光掺杂 SE,刻蚀，镀氮化硅 膜，氧化铝膜，激光开槽和丝网印刷，总体设备投资 1.2-1.6 亿元/GW, 按照
研究设备 半导体生产设备：全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法设备、过程检测等设备 B.光伏电池： 光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商
行业发展历程，细数光伏行业的最高成就，见证着标杆的力量。
光能杯，始终与行业同在!
江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微
导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。 微导总部设在江苏无锡，由精英企业家和技术专家团队共同创立。微导的核心技术是先进的原子层沉积(ALD)和反应离子刻蚀(RIE)装备, 并为
后来者，曾尝试过掩模光刻、离子注入、炉管扩散、CVD原位掺杂、激光掺杂等不同的设备和工艺，来制备IBC电池背面P区和N区。 随着设备成本的下降和工艺的成熟，IBC电池慢慢形成了三大工艺路线：1
仍有一定差距，效率提升的空间更大;
2) 从工艺角度看，PERC 目前最成熟， TOPCon 需要在 PERC 产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而 HJT 电池工艺最简单、步骤最少
N 型电池技术工艺渐进成熟，降本提效明确驱动产业化提速，从而带动产业链投资机会。N 型硅料和硅片对于碳氧量、纯度等指标要求高，带动原材料、核心设备及工艺水平的提升，有利于产业链龙头生产和设备
及检测等环节，电池片生产分为清洗制绒、扩散、刻蚀、覆膜及检测等环节，而到了组件环节包括串焊、层压机检测等工艺流程。较长的产业链涉及技术路线与工艺流程多，行业降本提效诉求下的技术迭代和扩产节奏加速，设备
光伏技术迭代和产能扩张，拉动设备需求持续放量。光伏产业链分为上中下游，从硅料-硅片-电池-组件-电站等环节，而光伏设备主要集中在硅片、电池及组件生产环节。硅片生产主要包括生产、铸锭、开方、切割、清洗
在PERC产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而HJT电池工艺最简单、步骤最少(核心工艺仅4步)，但基本全部替换掉PERC产线，IBC电池工艺最难最复杂，需要是用离子注入工艺提供生产技术
