离子刻蚀设备

决方案。其中，专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀（RIE）技术，经过一年多的开发和优化，于今年3月份在客户现场一次成功，实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片
金刚线切片+黑硅技术在多晶领域的推广，组件价格会出现显著下降。隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司是一家年轻的科技公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠、使用成本最低的生产设备和解

组件技术……但是不管是那种技术，首先转化效率才是决胜未来的根本。过去几年，无论单晶还是多晶电池，都保持了每年约0.3%～0.4%的效率提升。目前，我国光伏设备行业已经全面进入拼质量、拼效率的时代
生产。不过通过丝网印刷刻蚀浆料或者阻挡型浆料来刻蚀或者挡住不需要刻蚀的部分掩膜，形成需要的图形，这种方法成本较低，需要两步单独的扩散过程来分别形成P型区和N型区。另外，还可以直接在掩膜中掺入所需要掺杂的

0.3%～0.4%的效率提升。随着领跑者计划的推出，中国光伏行业制造水平、应用水平、标准及测试等方面均整体大幅提升，在组件产品转换效率提升方面促进作用更是明显。 目前，我国光伏设备行业已经全面进入拼质量
提高。PERC电池技术拥有广泛的应用前景。 相比一般电池技术，PERC电池增加了两道额外的工序：背面钝化层的沉积和激光开槽。因为需增加两套设备的投资，按目前的生产情况传递到组件端单瓦成本略高，但随着

%～0.4%的效率提升。随着“领跑者”计划的推出，中国光伏行业制造水平、应用水平、标准及测试等方面均整体大幅提升，在组件产品转换效率提升方面促进作用更是明显。目前，我国光伏设备行业已经全面进入拼质量
。PERC电池技术拥有广泛的应用前景。相比一般电池技术，PERC电池增加了两道额外的工序：背面钝化层的沉积和激光开槽。因为需增加两套设备的投资，按目前的生产情况传递到组件端单瓦成本略高，但随着生产规模的扩大及

0.3%～0.4%的效率提升。随着领跑者计划的推出，中国光伏行业制造水平、应用水平、标准及测试等方面均整体大幅提升，在组件产品转换效率提升方面促进作用更是明显。目前，我国光伏设备行业已经全面进入拼质量
电池技术拥有广泛的应用前景。相比一般电池技术，PERC电池增加了两道额外的工序：背面钝化层的沉积和激光开槽。因为需增加两套设备的投资，按目前的生产情况传递到组件端单瓦成本略高，但随着生产规模的扩大及

%～0.4%的效率提升。随着领跑者计划的推出，中国光伏行业制造水平、应用水平、标准及测试等方面均整体大幅提升，在组件产品转换效率提升方面促进作用更是明显。目前，我国光伏设备行业已经全面进入拼质量、拼效率的时代
广泛的应用前景。相比一般电池技术，PERC电池增加了两道额外的工序：背面钝化层的沉积和激光开槽。因为需增加两套设备的投资，按目前的生产情况传递到组件端单瓦成本略高，但随着生产规模的扩大及专用原材料费用的

；②气相腐蚀法；③反应离子刻蚀法（Reactive Ion Etching，RIE）；④金属催化化学腐蚀法（metal Catalyzed Chemical Etching，MCCE）。目前，具有量产
更高并有明显的线痕等外观缺陷，严重降低电池效率。阿特斯开发的湿法黑硅技术完美的解决以上问题，既能提升电池效率又能降低电池成本，是多晶电池继续进步的必由之路。制备黑硅所采用的技术主要有：①激光刻蚀法

，2010年时部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种（扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉）已在国内生产线占据主导地位

如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式