离子刻蚀设备

、光伏专用设备制造国产化进程加速，部分设备开始出口。我国太阳能电池制造设备和太阳能光伏组件封装设备已经成功实现了国产化，太阳能电池制造设备如扩散炉、等离子刻蚀机、清洗机、管式PECVD以及烘干/烧结炉

预测价格的关键。(4)光伏应用系统产品、光伏专用设备制造国产化进程加速，部分设备开始出口。我国太阳能电池制造设备和太阳能光伏组件封装设备已经成功实现了国产化，太阳能电池制造设备如扩散炉、等离子刻蚀机

processing.19th European photovoltaic Solar EnergyConference. 2004: 935-938. 秦应雄, 巨小宝, 徐挺等. 多晶硅片反应离子刻蚀制绒后扩散工艺的匹配性

气氛稳定系统、各类自动化等一大批专业装备，并计划推出全自动新型湿法刻蚀设备、新型背抛光设备、新型高导电表面镀膜设备等等。 　　HBI与中科院联合成立了中科院过程所新能源材料研究与应用中心，该中心

，从事三束（离子束、电子束、分子束）为主的电子束曝光机、分子束外延设备、离子束注入机等半导体微细加工设备的研发。与同类科研院所一样，随着社会发展，在市场经济的冲击下，48所陷入服务领域窄、发展后劲不足

、多晶硅炉、单晶硅炉、多线切割机、等离子体气相沉积设备、等离子刻蚀机、制绒机、激光划切机、丝网印刷机，自动分拣机等。协鑫硅材料是我国最大的硅片生产企业之一。记者在该公司的多晶硅铸锭车间看到，早期生产线使用的

运用到的主要装备有三氯氢硅系统、多晶硅炉、单晶硅炉、多线切割机、等离子体气相沉积设备、等离子刻蚀机、制绒机、激光划切机、丝网印刷机，自动分拣机等。 协鑫硅材料是我国最大的硅片生产企业之一。记者在

图2可以看出使用醋酸（CH3COOH）辅助制绒后硅片表面的腐蚀坑更细小和均匀。 　　3.2 电池片电性能测试 　　经过制绒后的两组硅片，正常生产制成电池片，扩散同管同舟，刻蚀同设备，镀膜同管同舟，印刷
、提高太阳电池的短路电流、开路电压和填充因子，最终达到提高太阳电池光转化效率的目的。 　　2.实验 　　2.1实验材料、设备以及方案 　　本实验所用硅片均由宜昌南玻硅材料有限公司生产，电阻率约为1

、激光刻槽、等离子刻蚀(RIE)和各向同性酸腐蚀。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。而各向同性酸腐蚀技术可以比较容易地整合到当前的太阳电池处理工序中，它的制作
、PET卷材清洗设备、单片制程清洗设备、玻璃减薄设备、二次强化设备、盖板玻璃清洗设备、背抛光刻蚀清洗设备、单(多)晶制绒设备、全自动SPM超声清洗设备、高温磷酸清洗设备、五金槽式清洗设备、五金链式清洗