离子刻蚀设备

已在国内生产线中占据主导地位。其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。多晶硅铸锭炉、多线切割机等设备制造技术取得重大进步

太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中占据主导地位。其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分

操作。当前生产过程中的良品率在很大程度上依靠的是经验，而不是理论。然而，在烧结过程中的优化处理可以帮助生产者降低成本。银浆烧制程序从550度融化玻璃料开始，熔融的玻璃料刻蚀ARC薄膜，并继续到达SIO2
高产出率依赖于多功能存储设备对温度的迅速分析，以及稳定的输送机驱动器和均衡的气流系统。调整后的烧结炉，其炉内预计温度将保持一致，没有变化。到目前为止，我们只讨论了发射极银接触面的形成，在一个p-型衬底

机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和

。用电子束蒸发通过AAO模板制备Ag纳米点。然后用3M NaOH溶液将AAO模板刻蚀掉，在玻璃衬底表面留下Ag纳米微粒。接着，用等离子增强化学气相淀积(PECVD)在Ag图形玻璃衬底上生长a-Si:H
800nm处将光电子流提高数倍。为了研究金属纳米点对增强吸收的作用，纳米点的尺寸和分布必须均匀。有几种方法已用于制造金属纳米图形，例如常规的光刻和自组装技术。但是，这些方法有一些缺点，如产出低或设备成本高

索比光伏网讯:产业化的周边PN结去除方式是等离子体干法刻蚀，该方法技术成熟、产量大，但存在过刻、钻刻及不均匀的现象，不仅影响电池的转换效率，而且导致电池片蹦边、色差与缺角等不良率上升。激光开槽隔离
技术根据PN结深度而在硅片边缘开一物理隔离槽，但与国外情况相反，据国内使用情况来看电池效率反而不及等离子体刻蚀技术，因此该方法有待进一步研究。目前行业出现的另外一种技术化学腐蚀去边与背面腐蚀抛光技术集

利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。用这种方法制备出的减反射绒面非常完美，表面反射率最低可降至0.4%，单多晶技术统一，生产工艺与设备都可移植于IC工业，如果生产成本能够进一步降低可望取代化学腐蚀方法而
反射率一般仍在11%以上)，并产生大量的化学废液和酸碱气体，非环境友好型生产方式。反应离子刻蚀技术(RIE)是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层MASK(掩膜)再显影出表面织构模型，然后再

企业。48所技术力量雄厚，专业门类齐全，是我国以集成电路、半导体照明、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和SOI材料等技术为主的骨干科研生产机构，是国内唯一以离子注入机为主的微电子装备
供应商和以MOCVD设备为主的光电子装备供应商，是国内最大的太阳能光伏制造装备供应商、最大的磁性材料制造装备供应商。48所利用自身的装备和工艺优势，不断开发具有自主知识产权的产品，成为国内最大的太阳能光伏

、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和SOI材料等技术为主的骨干科研生产机构，是我国唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商、以MOCVD设备为主的光电子装备供应商，是我国最大的太阳能光伏
索比光伏网讯:2011年全球前十大太阳能设备供应商排名依序是应用材料(市占12%)、Centrotherm(市占7%) 、Meyer Burger(7%)、GTAT(6%)、Schmd(4