离子刻蚀设备

、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机

、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、PECVD、非晶硅玻璃基片清洗

设备、等离子体刻蚀机、PECVD、非晶硅玻璃基片清洗设备等。与很多光伏企业一样，捷佳创成立的时间并不长，但在业内形成了一定的口碑与知名度，特别是在清洗设备市场中占有率颇高。据了解，该公司市场触角延伸得

附近进行建筑，这样就具备了较大的灵活性。如果某个单独的工具出现故障，其他流程仍旧可以继续下去。公司首席执行官杨立友先生解释道。这位薄膜界资深人士向笔者介绍了其所有重要等离子体增强化学气相沉积工具的内部
运作。这条欧瑞康生产线的系统是建立在单一真空室的基础上的，并在内部配有十个独立的等离子盒，均可单独运转。各等离子盒之间的互动极少，因此具有较强的可再生性和统一性。这个系统每次可对20块板材同时进行加工

，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备

单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等

的少子寿命测试仪。实验材料：材料采用P型(100)的直拉的125mmx125mm单晶硅片，电阻率约为0．5～3Ω·cm，厚度200+50μm。在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除
本研究使用德国ROTH&RAU科学仪器研制中心制造的PECVD-SiNA1型设备制备不同厚度的SiN薄膜。测试设备用：SENTECH生产SE-400ADV的激光偏振仪；SEMILAB生产的WT-2000

、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量

数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉已在国内生产线占据主导地位，管式

制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等；电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式PECVD、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪