离子刻蚀设备

，获得11项具有自主知识产权的核心技术。该所研发的高温扩散炉和等离子刻蚀机两种产品，多年在国内市场占有率高达80%。紧跟国际最新技术，该所还率先在国内研制成功首台八英寸程控扩散炉、ICP等离子刻蚀机等光伏

表现。中微半导体设备有限公司 (AMEC)自从2007年在日本的SEMICON隆重推出其高端的双反应台、去耦合反应离子刻蚀设备以来，其设备已经先后进入亚洲3个地区5家最先进的芯片制造企业。据报道

，独特的低成本商业模式，良好的资金状况，以及与现有及潜在顾客的良好关系。伴随着去年全球经济状况的窘境和芯片制造不断进入更小尺度所带来的更加昂贵的制造成本，客户更加看重我们独特的甚高频去耦合的反应离子刻蚀
，为创新和研发预留了充足的资金，在不断改进现有产品性能的同时，对前段和封装三维期间的TSV刻蚀技术和设备的研发投入了很多的资源。这使我们能在一个更主动的位置，以争取更多的市场机会。 很多亚洲一流的芯片

日前，东营光伏太阳能公司总投资2.1亿元、年产60MW光伏电池片项目开工建设，该项目主要以多晶硅晶片为原料，通过清洗、制备绒面、等离子刻蚀、去PSG等低耗能、无污染的工艺，生产光伏电池片
开发公司、巨丰节能设备公司等一批节能环保企业落户，在园区内刮起一股“低碳风”。 对现有的新一代管业、芯片制造、高性能化学制品、石油新技术开发等产业门类，园区鼓励这些企业运用新技术进行改造提升

，可以用化学腐蚀或离子刻蚀去除CdTe膜面的高阻氧化层。 　　 物理刻蚀技术废料少，容易和其他工艺环节集成，但是不易获得厚度在10nm～100nm的高质量富碲层，该层对于形成良好欧姆接触特性的背电极是非

、等离子刻蚀机、激光机和层压机、太阳能电池及组件的测试等设备已初步实现国产化。但由于这些工作见效慢，国家应该拿出资金对企业科研攻关予以补贴。 　　另外，我国主要靠进口生产线、各产业链单兵作战的现状

太阳能电池产业发展的全部重要设备。 　　目前，在太阳能电池生产线的10种主要设备中，六种已在国内生产线中占据主导。其中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分

主导。其中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。但是，多晶电池绒面制作的制绒机与进口设备还有一定差距，用于周边刻蚀的激光刻阻机及湿法化学刻蚀设备尚未成功开发

，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量
半导体设备行业是技术含量较高的行业，目前我国90%以上的半导体设备依赖进口，尤其在高端IC设备领域，几乎没有国内设备的声音。因此，从其他半导体设备领域取得突破后，再反哺IC设备可以说是中国半导体设备

扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口。“国产太阳能电池组件比国外低30%左右，很大一部分原因在于国产设备价格低，用国外设备建一条线的钱，可以用国内设备建3条线。”王俊朝对国产设备的