离子刻蚀设备

国产化，PECVD、等离子刻蚀机、激光机和层压机、太阳能电池及组件的测试等设备已经实现国产化，预计到2012年江苏的光伏产业装备将实现100%的国产化。 市场培育严重落后于产业发展，在

新兴产业制高点。目前，尚德已在全球建立6个研发中心，聘请外籍专家数十人。 此外，江苏省一批骨干型光伏企业已经着手攻克光伏产业技术装备的国产化，PECVD、等离子刻蚀机、激光机和层压机、太阳能电池及
组件的测试等设备已经实现国产化，预计到2012年江苏的光伏产业装备将实现100%的国产化。 市场培育严重落后于产业发展，在光伏行业表现得最为明显。而解决上网电价问题，是培育和启动市场的关键

扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据

方滚磨机、多线切割机清洗制绒机、扩散炉、刻蚀机、等离子增强化学气相淀积设备、烧结炉及各种太阳电池测试设备等。西安理工晶科、北京京运通真空设备公司、江苏华盛天国产太阳电池制造设备的喜与忧龙机械

、切方滚磨机、多线切割机清洗制绒机、扩散炉、刻蚀机、等离子增强化学气相淀积设备、烧结炉及各种太阳电池测试设备等。西安理工晶科、北京京运通真空设备公司、江苏华盛天国产太阳电池制造设备的喜与忧龙机械

、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也
属于批次式操作，虽然容易进行质量控制，但不易实现自动化。当前连续扩散已经实现产业化，污染小，但在线连续生产需要更大的资金投入。 镀膜工艺是提高电池效率的重要步骤，采用PECVD(等离子

㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm

单晶硅电池的转换效率最高,国内已达到17.6%。多晶硅电池的转换率也突破了16%。制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等
、接线盒、边缘密封带及金属柜架，就完成了整套组件的封装工艺。在整个光伏产业链条中,太阳能电池组件封装的资金和技术门槛最低。多数设备已实现国产化，且价格比较便宜。由于电池片越来越薄，为了减少破碎率，一些企业

大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。此外

。 光伏产业的飞速发展给中国半导体支撑业带来新机遇 经过多年的技术攻关和积累，中国半导体支撑业发展良好。如半导体前道工序用的离子注入机、刻蚀机、扩散炉、快速热处理设备、清洗机、涂胶显影