离子刻蚀设备
中国晶圆市场值得期待 国产设备渐显服务优势来源：Solarbe.com 发布时间：2008-03-28 09:34:39
。 2006年9月28日中芯国际与北方微电子和中科信在北京签署200mm离子注入机和刻蚀机的采购合同，本土设备业迈出了实质性的一步，开始真正踏上了产业化的轨道。然而，面对国外设备残酷的市场竞争，本土
国产太阳能电池设备：已基本具备整线供给能力来源： 发布时间：2007-07-09 14:16:59
本具备太阳能电池设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了
（二）光伏设备：中低端有作为 三领域待突破来源：中国电子报 发布时间：2007-06-26 19:26:54
左右。主要厂商如下： 中国电子科技集团第48研究所：国内太阳能电池设备的最大供应商，所生产的扩散炉、等离子刻蚀机、低温烘干/高温烧结炉、管式PECVD等占据了绝大部分国产设备市场并开始出口，单晶炉
（一）光伏设备：中低端有作为 三领域待突破来源：中国电子报 发布时间：2007-06-26 19:22:34
电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。 经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子
国产太阳能电池设备:已基本具备整线供给能力来源：北京七星华创电子股份有限公司供稿 发布时间：2007-06-20 19:18:03
设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了进口设备，并
