国产太阳能电池设备：已基本具备整线供给能力

北京七星华创电子股份有限公司供稿

太阳能发电被认为是21世纪最重要的新能源。从远期看，光伏发电将进入电力市场，部分取代常规能源；近期看，太阳能电池已经开始广泛用于通信、交通、民用产品等。利用太阳能光伏发电是不可逆变的潮流。

随着世界性的能源危机的到来和太阳能电池转换效率及技术的不断提高，其应用领域不断扩大，尤其是美国、德国百万屋顶光伏计划的实施及欧美可再生能源法的相继生效，给太阳能电池产业的发展提供了前所未有的发展机遇。从2004年开始，全球光伏行业进入了一个前所未有的跳跃式发展年，整个光伏行业从源头产品的硅片，到太阳能电池片，到终端产品组件都出现了供不应求的局面。国际市场对太阳能电池的需求猛增，极大地刺激了国内太阳能产业的发展。无锡尚德、南京中电、天威英利、晶澳太阳能等一批公司在光伏产业中崛起，同时为我国太阳能电池制造装备的发展提供了一个良好的契机。

国产设备已具备整线装备能力

目前我国已基本具备太阳能电池设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了进口设备，并取得了广泛的应用。

随着技术的革新与实际应用后的改进，目前国产太阳能电池设备总体的技术状况是：虽然已基本具备整线装备能力，但自动化水平较低；部分设备尚需实现突破。在湿法腐蚀和清洗设备方面，全自动制绒清洗设备、全自动PSG祛除设备，国内已经能够制造，并接近国际水平，初步具备参与国际竞争的条件；8英寸扩散炉的制造已和国际中等水平相当，性价比优势十分明显，并在实际中大量应用到国内的太阳能电池片生产线上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但性价比优势明显；管式PECVD工艺结果接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连续式PECVD设备，自动化程度(自动装卸片)和产量都相对较低；高温烧结炉与国际先进水平有一定差距，但差距不大，开始在大生产线逐步使用；全自动丝网印刷机尚在开发中，半自动丝网印刷机(人工上下料)已进入大生产线。自动检测分档设备目前国内还在开发研制中。

应提高整线生产效率

从光伏产业趋势看，始终是朝着提高电池的光电转换效率及整线生产效率并降低生产成本的方向发展。因此，我们国内主要的太阳能电池片设备的技术发展将围绕以下几个方面：提高单机自动化水平和效率，增加批次装片量；设备间自动化装置的应用，减少人工干预，提高整线生产效率；配合用户进行新工艺的探索实验，进一步提高能电池的光电转换效率；进一步发展适合大尺寸、薄硅片的工艺技术设备，节约硅材料，降低成本。同时更好地发挥太阳能电池国内设备厂商在性价比、地域及服务上的优势，以良好的价格，从中低端设备中突破，以成熟型产品扩大市场份额并带动相关产品的销售。在地域上，国内厂商比国外厂商更接近市场和用户，既有利于售前技术交流，为用户量身定做产品，也有利于售后的调试维修服务和长远的备件供应；在服务上，从产品导向到用户导向，在用户当地设立办事处，对用户需求做出快速响应，以优质的服务和用户建立长久而密切的合作关系。

北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”)是国内太阳能电池设备的主要供应商，在太阳能电池设备领域取得了不俗的成绩。公司主要产品太阳能电池片湿法腐蚀和清洗设备(包括自动制绒面设备、硅片自动清洗设备、自动PSG祛除设备，石英附件清洗设备)、扩散设备、化学气相淀积设备以及高温烧结炉在国产设备市场上具有很强的竞争力，已经装配到国内多条生产线上。针对太阳能电池片设计的清洗设备，可靠性高、产能大，完全满足太阳能电池大规模生产的行业特点；8英寸立式扩散/氧化系统具有较好的性价比；管式PECVD的工艺结果也已接近世界先进水平，还获得了海外用户的青睐，该产品已出口。成绩的取得来源于公司在半导体行业四十余年的积累，公司在氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备方面沉淀了雄厚的技术，又有广泛的客户基础。

太阳能电池设备价格比较低，国外厂商不好介入，而且其技术难度要比IC设备小得多，公司成功进入太阳能电池片领域门槛相对较低。我们希望国家及企业在这几个产品领域内加强力量投入，提供专项研发资金的支持，产品实现突破的前景将更美好。光伏产业的发展将给我国电子专用设备行业带来新的市场和发展机遇。