离子刻蚀设备

，建筑面积达到14万平方米。益丰光伏将陆续采购40套PECVD设备、40台烧结炉、40台丝网印刷设备、80台层压机、40台扩散炉、40台等离子刻蚀机等。该公司表示，这些设备将全部采用进口机型，投产

索比光伏网讯:弗罗里达州圣彼德斯堡--Sorra公司是一家领先的LED和激光技术公司，该公司最近购买了三套Plasma-Therm系统，用以在其晶圆制造工艺过程中进行等离子沉积和刻蚀步骤。Soraa
Plasma-Therm设备的决定中起着重要作用。我们重视建立强有力的业务关系以及我们系统经过验证的可靠性和支持，这是客户重复订购的关键因素。" Plasma-Therm成立于1974年，是先进的等离子工艺设备

光伏产业之后的相当一段时间里，只是在高温扩散炉和等离子体刻蚀机获得迅速突破，投资比重大、也更为重要的铸锭炉和切割机等关键设备，依然是一片空白。国内光伏产业也在积聚数年后于2006年前后迅猛爆发，在此背景下
领域作为市场化突破口，凭借在半导体装备领域的技术优势，他们推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，并逐渐垄断国内市场。到2005年现任所长唐景庭上任时，适逢国内光伏产业兴起，48所因之时来运转，成为赛维LDK

CEC 认 证等一系列认证，产品可以在欧盟、美国等地区销售。 公司募投项目还引入了国内外先进的生产设备，同时采用单面制绒技术、二次扩散技术、 背面刻蚀技术、二次印刷技术和二次烧结工艺技术，以提高
及各项技术指标达到或超过了同类进口设备的水平。 3、产品质量优势 公司十分重视质量管理，生产和检测设备配置完善。每条生产线均配有硅片检测、清洗 制绒、清洗甩干、扩散、刻蚀、去磷硅玻璃、沉积减反射膜

(金属有机化合物化学气相淀积)、退火炉等设备，再到与IC芯片工艺相类似的设备，如光刻机、刻蚀机、清洗机、蒸发镀膜等，最后到封装用的固晶机、金丝/铝丝球焊机、分选机等等，种类繁多。其中，MOCVD、等离子

焊接机、平板式PECVD镀膜设备也几乎完全依赖进口。但整体来说，光伏设备正在经历快速的替代进口过程。电池环节相关的扩散炉、等离子刻蚀机等已完全替代进口并开始实现出口。在硅片环节，国产化进程正在快速推广

、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和SOI材料等技术为主的骨干科研生产机构。同时也是国内唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商；以MOCVD设备为主的光电子装备供应商；国内最大的太阳能光伏
中国电子科技集团公司第四十八研究所（以下简称48所）成立于1964年，由原国防科委14研究院北京新工艺研究室和公安部湖南实验工厂合并组建，又名长沙半导体工艺设备研究所。是我国以集成电路、半导体照明

制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和

。 48所自1964年成立以来，一直致力于离子注入机、高温扩散/氧化系统、PECVD等微电子设备的研究，而光伏设备属于微电子设备中相对简单的分支。早在上世纪80年代末90年代初，48所就开始与18所

SiH4、镀膜靶材）、光电设备供应商（晶硅生长炉、扩散炉、清洗/制绒设备、等离子刻蚀机、硅片研磨机、PECVD设备、激光切割机、激光划线设备、组件压层、测试设备等）、能源公司/电力公司、光伏相关