离子刻蚀设备
气体，非环境友好型生产方式。反应离子刻蚀技术(RIE)是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层MASK(掩膜)再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。用这种方法制备出的减反射
就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。
2.2发射区扩散
PN结特性决定了太阳能电池的性能!传统工艺对太阳能电池表面均匀掺杂，且为了减少接触电阻、提高电池带负载能力表面掺杂浓度较高。
但研究发现
，非环境友好型生产方式。反应离子刻蚀技术（RIE）是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层MASK（掩膜）再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。用这种方法制备出的减反射绒
采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。
2.2发射区扩散
PN结特性决定了太阳能电池的性能！传统工艺对太阳能电池表面均匀掺杂，且为了减少接触电阻、提高电池带负载能力表面掺杂浓度较高。
但研究发现表面
全新的Centris Sym3刻蚀系统采用创新腔室架构，可使材料清除达到原子级精度
该系统已成功安装于多家客户的主要生产线中，成为公司历史上应用率上升最快的蚀刻设备
加利福尼亚州圣克拉拉
，2015年7月13日 应用材料公司今天宣布推出下一代刻蚀设备Applied Centris Sym3 刻蚀系统。该系统设有全新的反应腔，可实现原子级精度工艺。为了克服芯片内部特征差异，Centris
阶段，在晶体硅太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，多晶硅
。2014年，国内光伏制造设备水平仍处于快速提升阶段，在晶体硅太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳
清洗机、扩散炉、刻蚀机、PECVD及尾气处理设备、印刷机、烘干炉、烧结炉、石墨舟清洗烘箱、电池测试分选仪、包装设备、传输和装卸载等自动化设备等生产系统耗电，车间内照明、冷却塔、制冷机、空压机、干燥机
摘要: 在所有的太阳能电池技术中，硅基异质结（HJT）太阳能电池最引人注目，因为其具有高的转换效率、简单的工艺流程和低的温度系数。在HJT太阳能电池的制造过程中，等离子增强化学气相沉积设备
2.1 等离子增强化学气相沉积
在生产制造HJT太阳能电池的过程中，PECVD扮演着最重要的角色。其不仅决定着对产品性能起至关重要作用的钝化效果，同时也占据了最大的设备成本。非晶硅钝化层由精曜(苏州
索比光伏网讯:SEMI在敦促美国政府修订半导体设备出口管制清单上取得突破性进展。据悉，美国商务部工业与安全局（BIS）即日将正式发文宣布，认可国外（中国）存在各向异性等离子干法刻蚀设备，这类设备在
生成易挥发的四氟化硅气体。若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。6.5、等离子刻蚀由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散
上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。因此，必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。等离子
应用 光伏装备国产化会议---（专题讨论） 会议议题方向 国产化光伏装备现状 主设备国产化现状（晶硅炉、PECVD、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉、烧结炉、丝网印刷
