离子刻蚀设备
（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多
）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多线切割机、自动
索比光伏网讯:PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子
产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而
阴极，硅作为阳极，同时在硅表面构成微电化学反应通道，在金属粒子下方快速刻蚀硅基底形成纳米结构。目前较为成熟的湿法黑硅技术用到20多个槽体，在一台设备上完成去损伤、挖孔、扩孔等三个主要步骤，效率提升0.2
%。到目前为止制绒添加剂技术、干法黑硅技术和湿法黑硅技术等都可以解决金刚线切割的多晶硅片反射率高，制绒困难的问题。多晶制绒添加剂技术不改变原有设备，增加专用添加剂，可以将金刚线多晶硅片反射率降低至接近常规
内反射。平整的表面使得钝化膜沉积更加均匀，对于业内常用的梅耶博格公司的Maia 系列PECVD 设备，可降低沉积时间，节省三甲基铝耗量。 目前，背面抛光技术路线有两种：1) 增加酸刻蚀清洗工序的刻蚀量
反应离子刻蚀（RIE）技术，于今年3月份在客户现场实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩。在N型双面电池的钝化工艺上耕耘了近一年
索比光伏网讯:隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ALD）技术
时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%的平均转化效率。另外，专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀(RIE
隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术，在不到一年的
反应离子刻蚀(RIE)技术，于今年3月份在客户现场实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩。在N型双面电池的钝化工艺上耕耘了近一年
索比光伏网讯: 隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术
。5、运营成本下降。金刚线切割的设备占用资本、空间占用、人力和电力占用均有下降，整个生产流程更加简化，从而降低运营成本。按照制作工艺，金刚石切割线又可分为电镀金刚石线与树脂金刚石线。树脂金刚石线是先将
之处。两种新型制绒技术：添加剂制绒技术、黑硅技术制绒添加剂技术：性价比最高，电池效率小幅损失金刚线切割而成的多晶硅片上使用添加剂直接制绒，无需额外的设备投入，生产改装成本最小。制绒添加剂技术是指在传统酸
激光脉冲法、等离子体刻蚀法及金属离子辅助刻蚀法等。但这些传统方法所制成的黑硅纳米陷光结构通常具有结构较小、密、深且缺陷多的特征，甚至有杂质残留，这些黑硅结构如果没有进行优化的话，将导致严重的表面复合反而
