索比光伏网讯:隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ALD）技术，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%的平均转化效率。另外，专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀（RIE）技术，于今年3月份在客户现场实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩。
在N型双面电池的钝化工艺上耕耘了近一年时间以后，江苏微导的原子层沉积设备终于完善了批量生产的各项指标，进入到了大规模量产的阶段。截至八月,微导已开始交付第一批10台以上订单为客户进行生产。同时，微导的双面钝化技术也引起了PERC市场的强烈关注，已有多家国内知名的光伏企业在使用微导的原子层沉积设备尝试双面钝化的工艺路线，并在很短的时间内就在PERC电池上达到了668mV的平均开路电压和高于21.5%的平均光电转换效率。目前，PERC电池双面氧化铝钝化的工艺路线已经完全走通，相信在接下来的几个月内就能达到批量的生产规模，为高效电池的生产注入一份新的动力。
使用江苏微导的原子层沉积设备制备的氧化铝薄膜有着异于寻常的钝化特性，在不同的电池结构上都达到了远低于市场同类钝化设备薄膜厚度的表面钝化效果。在４纳米的厚度上依旧可以保持6x1012cm-2的负电荷密度，在1.5-4纳米的范围内都可以获得664mV以上的开路电压，充分显示了原子层沉积技术的优势，减少了三甲基铝源的耗量，为客户节省了大量成本。江苏微导也在机械设计和工艺调试上狠下功夫，达到了单面镀膜实际产能超过6000片/小时和双面镀膜产能4000片/小时的目标，而且与主设备匹配的自动化上下料系统可以在单面镀膜和双面镀膜两种模式间自由转换，真正满足不同客户的需求。
据悉，江苏微导目前已着手开发下一代产品，力求达到单位面积产能第一的目标。同时，在原子层沉积技术上将携手新南威尔士大学一起开发选择性接触（carrierivecontact）材料用于新一代的电池技术。微导自主知识产权的原子层沉积技术颠覆了沉积速度慢的传统观念，实现了太阳能晶硅电池的大批量生产。这不仅仅超越了绝大多数晶硅电池工艺设备的产能瓶颈，也是原子层沉积技术实现真正意义上的大批量生产的重大突破，达到国际领先水平。
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