RIE设备
内，成功开发出用于光伏、柔性电子、半导体、LED和MEMS等工业的ALD和RIE产业化设备，产品具有国际先进水平。 微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。
值得注意的
行业发展历程，细数光伏行业的最高成就，见证着标杆的力量。
光能杯，始终与行业同在!
江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微
反应离子刻蚀(RIE)装备, 并为新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等多个工业领域的产业化生产提供整体解决方案。微导依托具有多年自动化设备及自动化生产线产业化经验的集团平台, 拥有领先的智能自动化技术储备
和雄厚的产业化资源，在短时间内，成功开发出用于光伏、柔性电子、半导体、LED和MEMS等工业的ALD和RIE产业化设备，产品具有国际先进水平。 微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。
, 并为新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等多个工业领域的产业化生产提供整体解决方案。微导在短时间内，成功开发出用于光伏、柔性电子、半导体、LED和MEMS等工业的ALD和RIE产业化设备，产品具有国际先进水平。 微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。
四个环节。其中：第二环节晶硅片生产，晶硅片切割是光伏产业链中的重要生产环节。
晶硅片约占太阳能电池组件生产成本的40%，晶硅片切割设备是太阳能电池晶硅片生产的通用设备，其质量是影响切割工艺的重要因素
过高问题，还能附带一定电池效率的提升(转换效率能提高0.4-0.6个百分点)。
目前，比较成熟的黑硅技术技术路线主要有干法(RIE)和湿法(MCCE)两种。干法黑硅技术相比而言效果更好，但由于需要
黑硅，RIE)及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(湿法黑硅，MCCE)，前者受设备参数影响较大，后者受硅片质量及工艺条件影响较大。 2004年，日本京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术;2008年，以
20.1%，而在加入俗称“干法”的离子反应法（RIE）黑硅蚀刻工艺后，效率进一步提升到了20.6%。协鑫集成表示，为搭配金刚线切与黑硅技术，公司深入比较并研究添加剂、MACE（俗称“湿法”）以及RIE三种
工艺，最后利用RIE达到了成本与表现的最佳结果。
技术的创新推动了极大地推动了产业发展。据悉，协鑫集成在2016年第4季度实现了多晶黑硅PERC基础工艺的产业化。目前，黑硅+多晶PERC量产电池片达到
%大关，多晶组件功率超过 285W。 2017年4月，干法黑硅设备制造商比太科技发布第四代RIE干法黑硅量产设备Tysol-4000。该设备产能可达4000片/小时，量产CoO成本0.10元/片左右
硅片、控制硅片内的氧含量;其二是对电池片通过在一定温度下进行光、电注入，使B-O对中性化不会吸附产生的少数载流子，从而减少光衰，设备厂家有Centrotherm、科隆威、Schmid、时创等。
随着
市场端对高功率的需要不断扩大，PERC电池各工序配套设备、辅料供应商和硅片质量的不断提升，以及电池和组件工艺的不断进步，PERC电池成为各大电池厂家产线升级和扩产新线的首选，实验室最高效率不断创出
，目前新疆准东开发区基地的建设进度符合预期，氯氢化设备等重要装置正紧锣密鼓安装，预计二季度末即可试产，三、四季度产能逐步爬坡，年底可达产4万吨。
与此同时，保利协鑫十余年的成熟多晶硅技术将完全应用在
新疆基地，采购全新先进国产设备，保持徐州、新疆人才的双向流动，再加上新疆的低电价优势，成本将做到全球最低，新疆多晶硅产能将具备极强的竞争能力。管理层透露，未来高品质多晶硅和普通多晶硅价差会进一步拉大
，先导和协鑫、隆基、天合、晶科、阿特斯、晶澳等公司建立战略合作伙伴关系。先导的ALD背钝化设备、RIE干法黑硅设备、MBB多栅串焊机达到了全球领先的水平。结合先导自主研发的MES系统，可为光伏企业打造
