RPD

也陆续推出CVD新产品，现阶段仍在试验中。 TCO镀膜设备：RPD设备商包括日本住友、台湾精耀，PVD设备商包括梅耶博格、应用材料、冯阿登纳、国内钧石等。 现阶段采用PVD方式成膜的企业较多，主要
。 效率上RPD现阶段较PVD(ITO)优势在0.4%左右，可以通过托盘优化将差异拉开至0.6%以上，并且可以通过使用其他更高效的靶材进一步拉开与PVD的效率差异至0.7%。但是RPD缺点较为明显，第一

)。三家分别采用了不同整线商方案，所采用的CVD、PVD/RPD以及配套的靶材、浆料都有所差异，2019年9月份到2020年3月份之间，3家都会陆续给出量产结果，届时将会分晓哪种技术路线更加稳定、适合
到具备经济性的阶段;②HJT电池片非硅成本：测算得到目前HJT电池片非硅成本若采用RPD工艺约0.659元/W，采用PVD工艺约0.627元/W，非硅成本仍比主流PERC高0.3-0.4元/W，降成

电池工艺技术中制绒清洗设备研发、RPD设备研发、丝网印刷线研发已基本完成，完成工艺验证可以实现量产，而难度最大的PECVD样机预计也将于2020年一季度交于客户验证，届时公司将完全具备HIT整线量产

、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和应用材料的设备比较成熟，但价格比较昂贵;国内钧石和理想有供货能力。清洗制绒机目前日本YAC比较成熟，YAC目前也在推进
、PH3等气体，非常成熟，成本占比可以忽略。 PVD/RPD：氩气、靶材。先导、映日、壹纳等国内厂商已经突破，价格大幅低于海外厂商，未来需求放量，价格还有下降空间。靶材核心成分是氧化铟，质量占比在

则在研发层面对多种技术路线保持跟踪，尚未有建立中试线的计划。 以捷佳伟创、迈为、金辰为代表的国内设备厂商在积极研发相关设备并取得一定进展，清洗制绒、PVD/RPD、丝网印刷都已突破，PECVD

，并且2020年Q2-3将有一批标杆项目投运。装备方面，过去两年主要装备企业在转化效率等方面获得较大进展，国内相关装备上市公司也多将HIT作为重点投入方向。设备端清洗制绒、PVD/RPD、丝网印刷都已
之后就进入PVD或RPD设备，沉积透明金属氧化物导电膜TCO。TCO纵向收集载流子并向电极传输。非晶硅层晶体呈长程无序结构，电子与空穴迁移率较低，横向导电性较差，不利于光生载流子的收集，因此需要在正面

。 工艺：核心工艺与PERC完全不同 异质结电池四步核心工艺为清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、印刷电极与烧结。与PERC工艺的区别在于：1)非晶硅薄膜沉积环节，使用PECVD或RPD沉积本征

。 工艺：核心工艺与PERC完全不同 异质结电池四步核心工艺为清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、印刷电极与烧结。与PERC工艺的区别在于：1)非晶硅薄膜沉积环节，使用PECVD或RPD沉积本征

片HJT电池成功下线，奠定规模化量产基础。捷佳伟创以核心工艺(湿法/RPD/金属化制程)设备供应商的角色参与其中。目前公司获通威四期项目订单，HJT电池整线设备已进入开发验证阶段，预计于年底实现全面

，奠定规模化量产基础。捷佳伟创以核心工艺(湿法/RPD/金属化制程)设备供应商的角色参与其中。目前公司获通威四期项目订单，HJT电池整线设备已进入开发验证阶段，预计于年底实现全面国产化，并交付通威进行