RPD
设备，如清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备等，目前捷佳伟创、迈为股份均有布局，相关设备在多条中试线上调试运行。 在组件环节，电池+组件厂商东方日升，其HJT电池在今年
可以获得10%以上的年发电量增益。 上文也提到，国产设备龙头研发顺利，设备环节有望优先受益。 各环节设备投资额占比情况，清洗制绒(10%)、PECVD(50%)、TCO制备-PVD/RPD(25
，成为中国光伏装备第一股。
捷佳伟创系业内较早开始开发HJT整线设备的厂商。HJT电池制备的第三道核心工序是制作透明导电膜，行业内主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应 等离子体沉积法)两种方式
。早在2018年，捷佳伟创就取得日本住友重工RPD设备在中国大陆地区的独家授权，在此基础上通过全球引智、国际合作，深入进行了RPD设备的二次开发，成功推出了RPD5000A系列更适配于HJT的高性价比
继引领高效和超高效HJT的TCO设备新型自主RPD系列之后，捷佳伟创历时一年精心打磨的具有完全自主知识产权的HJT关键工艺设备板式PECVD5500迎来了整备交付客户的日子，给生机蓬勃的光伏行业又
AGV智慧工厂的全制程设备的自主开发工作，成为全球第一家完成全线四道工序完全自主开发的整体异质结电池解决方案设备提供商。这款优秀的PECVD设备将和TCO工序先进的RPD系列设备组成 双子星 设备
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;在高效HJT环节，包括RPD系列和先进PECVD在内已具备电池设备整线交付能力。尤其是捷佳伟创自主研发的RPD系列设备能够在常规HJT的基础上为高效HJT带来保守0.6%以上的效率增益，在不高于常规
PERC+环节通过与客户深度合作已取得突破;在高效HJT环节，包括RPD系列和先进PECVD在内已具备电池设备整线交付能力。尤其是公司自主研发的RPD系列设备能够在常规HJT的基础上为高效HJT带来保守
%，从效率角度出发，HJT 效率高出 PERC 1.5%以上则可体现出性价比优势
HJT 工艺步骤简单但十分敏感，要求更加严苛：HJT 生产步骤仅包括制绒清洗、PECVD、PVD/RPD
、丝网印刷和 光注入退火五个环节，对应设备分别为制绒清洗设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备和光固化炉。HJT 特殊的晶硅/非晶硅界面态钝化结构对工艺、设备、生产环境、操作
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非晶硅沉积设备：主要以进口设备为主，包括日本松下、梅耶博格、应用材料等，国内理想能源已开始VHFCVD的研制。
透明导电薄膜设备：日本住友垄断了RPD设备的专利以及对应的专属靶材IWO，捷佳伟创
通过与其合作具备了RPD产品供应能力;冯阿登纳、新格拉斯等外资企业基于PVD的工艺也推出对应的产品，但由于ITO靶材性价比相对较低，且PVD工艺在镀膜质量上较RPD仍存在一定差距，因此PVD尚未
