RPD
HJT电池的工艺路线 基于以上特点，HJT电池实验室转换效率达到25%，结合IBC技术的HBC电池突破26%，目前采用MBB多主栅、光注入退火，RPD等增效技术，量产平均效率在近期也可望突破24%，与
为收集光生载流子并将其输送到金属电极上，导 电性好、透过率高是 TCO 薄膜需要具备的关键特性。在工艺方面，目前主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应 等离子体沉积法)两种方式，PVD 利用
经过加速的高能粒子轰击靶材，使靶材表面的原子脱离晶格逸出沉积在衬底 表面发生反应而形成薄膜;RPD 法利用等离子体枪产生氩等离子体，氩等离子体进入生长腔后，在磁场作用下轰击 靶材，靶材升华形成蒸气
、离子镀、RPD反应离子沉积等)、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验，形成工艺研究设备、规模化产线设备系列化产品，广泛应用于光伏、半导体、显示、纳米科技、化工、制药等领域，并拥有GW级光伏电池产线核心技术和设备制造经验。
、PVD/RPD、丝网印刷+烧结炉。
异质结电池优势
◼ 最简洁4步工艺流程
◼ 最高转换效率
◼ 最低温度系数
◼ 最佳双面效益
◼ 无光致衰减(LID)
◼ 无电位衰减(PID
)丝网印刷设备
捷佳伟创异质结电池全工序装备总结
制绒设备，在洁净度、能耗、智能制造等方面全面提升
PECVD反应腔无托盘设计，没有交叉污染问题进而提高Voc
RPD比SPT效率高
则选择的是反应等离子RPD 技术路线。RPD 和双面进行薄膜沉积的 PVD 技术路线相比，采用自下而上的单侧沉积技术，关键设备是等离子枪。
多厂商前期布局，量产转换效率突破
降本空间大。2019 年以来，国产设备厂商相继进入异质结环节，从目前公开信息来看，捷佳伟创、迈为、钧石均有布局。
捷佳伟创一直致力于异质结电池设备的开发，目前已具备湿法制程、RPD 制程、金属化制程
太阳能电池中试线和产业化运营，预计随着后续设备国产化的推进，异质结技术有望获得突破，渗透率有望大幅提升。 2019年8月，捷佳伟创HJT单晶制绒清洗设备研发、透光导电薄膜设备(RPD设备)研发
较短、国内外研发同比，所以各设备厂商基本为异质结整线制造模式。其中，捷佳伟创应用于 HJT(异质结)电池产线的 RPD 设备，是捷佳伟创获得住友重工(中国大陆地区)独家授权后进行研发制造的核心工艺设备
，这种透光导电膜设备设计独特，相对传统的 PVD 设备具有表面损伤少、 载子迁移速度高等技术优势，对于 HJT(异质结)电池转换效率的提升具有较 大的贡献。RPD设备应用广泛，除应用于 HJT
，捷佳伟创目前已基本完成异质结电池清洗制绒、RPD镀膜、丝网印刷等设备研发，并进入工艺验证阶段，持续推进设备国产化。 目前，多数上市公司已经抢先布局电池环节。除通威股份外，东方日升的异质结电池产能即将落地
企业已经在引进进口线，行业先驱已经在行动了。
具体来讲，HIT主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和
是TMB、B2H6、PH3等气体，非常成熟，成本占比可以忽略。
PVD/RPD：氩气、靶材。先导、映日、壹纳等国内厂商已经突破，价格大幅低于海外厂商，未来需求放量，价格还有下降空间。靶材核心成分是氧化铟
公司已基本完成异质结电池清洗制绒、RPD 镀膜、丝网印刷等设备的研发并进入工艺验证阶段,异质结电池整线生产设备国产化正在积极推进中。近期随着国内异质结电池试验产品转换效率逐步提升以及设备的国产化和降成
