RPD

运用。 国产设备厂加紧布局异质结设备，分享此轮技术更迭红利。异质结电池分为制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷四道 工艺，目前国内设备厂商积极布局各环节设备。制绒清洗领 域，国产代表是
捷佳伟创;PECVD领域，国内厂商包括理想万 里晖、迈为股份、钧石、捷佳伟创(研发中)等;PVD/RPD领 域，国产厂商包括捷佳伟创、钧石、宏大真空等;丝网印刷 机领域，国内企业包括迈为股份

、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备四个步骤，主要生产设备有清洗制绒机、PECVD、RPD/PVD以及丝网印刷机。目前，异质结产线设备较高，占据了异质结电池产品成本很大的比重，根据预测，异质结核心设备

RPD设备已经在爱康中试研发线进行了引进，在后续扩产前将在某些关键工艺设备上实行共同研发，主要聚焦等离子化学气象沉积镀膜设备(PECVD)和新式TCO镀膜设备，双方将共同开发具有自主知识产权和技术

(HWCVD)，其中本征非晶硅薄膜是 HIT 电池表面的钝化层，沉积后需要掺杂膜层来形成发射极和背表面场。 TCO 薄膜沉积：常用的工艺是磁控溅射(PVD)和反应等离子体沉积(RPD)，沉积非晶硅薄膜后
。 HIT 电池产线所需设备包括制绒清洗设备PECVD/HWCVD 设备沉积非晶硅薄膜RPD/CVD 设备沉积 TCO 薄膜丝网印刷设备自动分选机。 非晶硅薄膜沉积设备和 TCO 薄膜沉积设备

的可能， 技术上异质结比 PERC 更具想象空间，如沉积方式从 PVD 专项 RPD 以及多主栅、光注入退火的叠加，甚至与钙钛矿电池结合形成叠层电池。若异质结电池最终实现 25%的转换效率， 较升级
RPD 等离子枪专利授权后， 打破台湾厂商 Archers 作为 RPD 工艺唯一供应商的垄断。 1) 理想万里晖：国内 PECVD 先行者。早在 PERC 电池发展的初期，公司便已投身于异 质

开展深入合作。 在异质结电池生产制造过程中，设备是整个流程环节中的重要一环。此次合作前，爱康已经在中试研发线引进了捷佳伟创220MW RPD设备，在后续扩产前将在某些关键工艺设备上实行共同研发

薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。成膜过程在真空中进行，大约在 5～500Pa范围内。 ③TCO沉积包括RPD(反应等离子体沉积)和PVD(物理化学 气象
沉积)两种方法。 RPD(反应等离子体沉积)技术主要由日本住友重工掌握，其设备匹配自己生产IWO(氧化铟掺钨)靶材制备IWO透明导电薄膜，其采用蒸发镀膜对衬底轰击较小，IWO薄膜电学性能明显优于

与丝网印刷设备，且已具备提供 HJT 整线解决方案的能力;捷佳伟创已基本完成清洗制绒、RPD 镀膜、丝网印刷等设备的研发并进入工艺验证阶段。 HJT 电池降本路径明确：根据前期报告的测算

与丝网印刷设备，且已具备提供 HJT 整线解决方案的能力;捷佳伟创已基本完成清洗制绒、RPD 镀膜、丝网印刷等设备的研发并进入工艺验证阶段。 HJT 电池降本路径明确：根据前期报告的测算

)。 HIT投资成本因设备配置变化而改变。其取决的因素包括采用完全进口设备还是部分国产设备;同种工艺选择何种设备，比如非晶硅沉积选择HWCVD还是PECVD，TCO镀膜选择RPD还是PVD。目前，全
进口设备方案，配套PECVD及RPD的单位投资成本约为10亿/GW。 自531新政发布以来，光伏产业链各环节价格已降低了30%-40%，光伏平价上网加速推进中。同时受下游光伏企业对光伏电池降本增效的