RPD
、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产线基本实现了HJT设备的国产化替代，尤其通威股份1GW异质结
、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进HJT整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降，Solarzoom预计2022年设备成本有望降至3亿元/GW以内，折旧
设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备,在设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。
1)制绒设备：主要是利用化学制剂对硅片进行清洗和表面结构化，核心设备
Cat-CVD理论上可在热丝两侧同时沉积，生产速度更快。
3)TCO薄膜设备-PVD/RPD：技术壁垒低于PECVD，主要包括RPD和PVD两种的技术路径设备。目前主流技术路线是用PVD(物理气相沉淀)，相较于
转换效率
靶材的选择决定了薄膜的光电特性，进而影响电池转换效率。目前TCO镀膜主要采用PVD或RPD技术，PVD主要采用ITO和SCOT靶材，目前ITO靶材已较为成熟，ITO的锡含量越低，电池转换效率
越高，97/3和99/1低锡含量溅射靶材所制备的异质结电池的转换效率要优于普通成分比为90/10的ITO靶材。RPD主要采用IWO和ICO靶材，新型ICO靶材载子迁移率可达50-150cm2/Vs，高于
爱康引进全球第一台能达到5000片/小时产能的设备，RPD技术所沉积的TCO膜具有很高的迁移率和光的透过率，有效提升 HJT 电池的整体转换效率。工序作用
在沉积完成非晶硅膜硅片的正反面沉积
;
●沉积设备由国内捷佳伟创提供，目前全国最大产能的RPD设备，也是第一台国产化设备;
●在转换效率方面，能够提升转换效率0.2%。
清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备,在设备投资额占 比分别约 10%、50%、25%和 15%。
1)制绒设备：主要是利用化学制剂对硅片进行清洗和
设备-PVD/RPD：技术壁垒低于 PECVD，主要包括 RPD 和 PVD 两种的技术 路径设备。目前主流技术路线是用 PVD(物理气相沉淀)，相较于 PVD，RPD 的效率和 质量更高，但是受制
沉积、TCO 制备、电极制备，对应的设备 分别为清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备,在设备投资额占 比分别约 10%、50%、25%和 15%。
1）制绒设备：主要
， 生产速度更快。
3）TCO 薄膜设备-PVD/RPD：技术壁垒低于 PECVD，主要包括 RPD 和 PVD 两种的技术 路径设备。目前主流技术路线是用 PVD（物理气相沉淀），相较于 PVD
的过程中，设备公司具有较高的业绩弹性，目前主流HJT所需设备包括清洗制绒、PECVD、PVD(RPD)、丝网印刷设备，其中迈为股份、捷佳伟创、金辰股份、钧石、理想万里晖等国内公司的HJT设备已进入产线，帝尔激光的激光LIA设备已获得欧洲HJT客户千万级别订单。
，感谢您对公司的支持与关注!公司于2020年自主研发出了HJT四种生产设备中最核心的两种设备：CVD镀膜和TCO镀膜设备，即首台国产大产量RPD5500A设备和异质结关键设备板式PECVD，并先后出厂交付
。特别是RPD设备能够在常规HJT的基础上为高效HJT带来保守0.6%以上的效率增益。公司已成为全球第一家且唯一一家完成全线四道工序完全自主开发的整体异质结电池解决方案设备提供商。PECVD设备将和
(与安徽华晟的迈为设备相同)，多了一次翻面，但是可以提高至少0.15%的转换效率，且减少了镀膜的污染。
2)在透明导电膜环节(设备价值量占比25%)使用的是PVD设备。我们一直认为，虽然RPD的效率高
，但是在量产线上，PVD又一次被选择，说明PVD已经逐步被客户广泛认可;RRP和PVD的靶材发射方式的区别导致了是否适合量产，RPD的方式是蒸镀，靶材容易落到腔体，需要定期开腔回收和清洗;PVD的镀膜
