继引领高效和超高效HJT的TCO设备——新型自主RPD系列之后，捷佳伟创历时一年精心打磨的具有完全自主知识产权的HJT关键工艺设备板式PECVD5500迎来了整备交付客户的日子，给生机蓬勃的光伏行业又增添了一抹靓丽的色彩。捷佳伟创在高效和超高效HJT的基础棋局里，落下了最后一颗棋子，从而具备了完全自主的高效和超高效HJT的整线交付能力。
这款PECVD5500是捷佳伟创自主研发设计的针对HJT电池工艺生产设备的基础型号。由经验丰富的美国博士团队与本土高级工程师团队通力协作担当设计，汲取当前国际主流设备的特点，结合量产需求自主研发而成;作为新一代板式PECVD产品，其独特的气流场和电磁场以及温度场设计实现大面积薄膜沉积的均匀性和稳定性、良好的钝化效果和优异的薄膜性能。
PECVD5500主设备的腔体结构紧凑，载片板采用M6硅片10×10布局;节拍完全满足当前高效率的工艺要求，镀膜高度调整带来的宽泛的工艺窗口为客户提供更灵活的实现高效率电池的工艺路径;上下料系统完全消除当下HJT电池敏感难题，整体PECVD系统具备极高的性价比;基础型号通过减配腔体和增配串联腔体，可以实现3000-11000的产能选择。
根据厂内测试的数据显示，捷佳伟创PECVD5500设备基本性能和模拟工艺结果全面优于设计目标。搭配捷佳创特殊绒面结构，镀膜均匀性达到5%以内，膜质优良，明显优于行业水平。同时经过调整组合方式可以实现IINP新工艺要求。基于基础型号的优异状态，捷佳伟创的下一代大产能同步进入设计，将实现产能基本翻番，亦将持续为客户创造不凡价值。
至此，捷佳伟创不负众望率先打通高效HJT从工艺设备到AGV智慧工厂的全制程设备的自主开发工作，成为全球第一家完成全线四道工序完全自主开发的整体异质结电池解决方案设备提供商。这款优秀的PECVD设备将和TCO工序先进的RPD系列设备组成 “双子星” 设备，和公司传统优势设备制绒、印刷设备一起，把异质结电池量产转换效率推上25%的行业新高度，突破从常规HJT向高效和超高效HJT的蜕变。
责任编辑：大禹
