RPD
。 工艺：核心工艺与PERC完全不同 异质结电池四步核心工艺为清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、印刷电极与烧结。与PERC工艺的区别在于：1)非晶硅薄膜沉积环节，使用PECVD或RPD沉积本征
，转换效率达到23%，奠定规模化量产基础。公司以核心工艺(湿法/RPD/金属化制程)设备供应商的角色参与其中。其中，RPD设备获得住友重工独家授权研制，优于传统PVD设备，更可用于OLED、钙钛矿电池等领域
工艺设备供应商的角色参与了该项目的建设，提供了湿法制程、RPD制程、金属化制程三道工序的核心装备，该三道工序的设备也是捷佳伟创为布局异质结电池技术而研发的部分设备。捷佳伟创异质结团队以专业、积极、高效的服务
配合项目的开展，有力保证了该项目第一片电池片按计划成功下线。
应用于异质结电池产线的RPD设备，是捷佳伟创获得住友重工(中国大陆地区)独家授权后进行研发制造的核心工艺设备，相对传统的PVD设备
在于：1)非晶硅薄膜沉积环节，使用CVD(PECVD或Cat-CVD)沉积本征氢化非晶硅层和P型/N型氢化非晶硅层;2)镀膜环节使用PVD或RPD沉积TCO导电膜;3)印刷电极方面需使用低温银浆;4
设备在槽体结构上和设备选材上全面升级、烘干方式上全面革新，经调试后可以达到进口设备各项性能指标，生产运营成本下降30%-50%;同时该公司也已经在加速研发CVD、RPD设备，预计在2019年可以推出
上，我们还是选择了PCVD，我们认为这个工业化，量产上相对来说比较成熟一点。TCO呢，我们是PPD和RPD都在用。在电极制备上，还是主要考虑丝网印刷的。这个也可以配合浆料改进应用。在生产线的规划
HJT的发展性，选择以HJT电池生产所需的PECVD、RPD设备为事业核心，目标抢下全球三分之一的HJT设备市占率。精曜科技董事长吴子倩表示，台湾在半导体的设备、技术、人才等方面的基础甚佳，精曜科技加以
产线是100MW，其中包括PECVD、RPD、印刷机等部分。陈厚模解释，精曜将各个机台组件化，保留客户针对需求采购设备的弹性，也保留精曜提供客制化服务、甚至发展其他相关应用的空间。这样的弹性使精曜号称
表面复合速率和740mV的潜在开路电压(iVoc)值。另外，通过RPD设备沉积透明导电氧化层，可以同时得到优越的光学特性和电学特性，提升了器件的电流密度（Jsc）和填充因子（FF），这主要归功于其具有
较高的载子迁移率和较低的自由载子浓度（FCC）。结合PECVD技术良好的表面钝化效果和RPD制备TCO的优异表现，我们初步在六英寸电池片上得到了大于21%的转换效率。
关键词：硅异质结太阳能电池
