被钝化设备
异质结电池，喷墨打印金属电极技术也具有明显的优势，被认为是代替传统丝网印刷的新技术之一：首先其生产设备简单、掩模较少，分辨率高，具有低成本、高产量的特点;其次，喷墨打印技术可以做到对金属电极材料选择性
%，面积仅0.25%。1991年日本三洋公司首次将本征非晶硅引入异质结电池结构，实现了优良的界面钝化，制备出效率为18.1%的电池，并将该结构的电池命名为异质结电池。异质结电池技术经过几十年的发展，电池
、高效率的关键。
HIT电池工艺流程
HIT电池技术金属化(银浆)发展研究
1HIT电池金属化的核心要求
HIT电池因为其特殊的晶硅/非晶硅界面态钝化结构，对设备、工艺、环境、操作水平等要求
，因此由于微裂造成的损失被大大减小，产线的产量可提高1%。更为重要的是由于主栅材料采用铜线，电池的银材料用量可以减少80%。但是其设备造价极其昂贵，电池可靠性仍待批量验证。
几种金属化方法优缺点汇总
。5GW的应用领跑者项目要在年底抢并网，同样会面临这两个问题。各基地已经给了电网接入的承诺函，那组件供应是否会紧张呢?
新技术对功率的提升
目前，被广泛使用的、提升转换效率的技术主要是PERC、半片
串联电阻，提高填充因子;
(2)减少载流子复合，提高表面钝化效果;
(3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。
因此，SE技术处理过的电池相比传统太阳电池有0.3%的提升，SE技术跟
年代，基于p+pn+ 或p+nn+ 结构的双面受光晶体硅太阳电池的结构被正式提出。
1994 年Moehlecke 等在第一届世界光伏会议上介绍了基于p+nn+ 结构的双面太阳电池，该电池的正面
转换效率达到了19.1%，背面转换效率为18.1%。世界各国研究人员陆续在钝化、丝网印刷、掺杂扩散等技术方面取得进展，实现了双面光伏组件的工业化生产。
目前市场上的双面光伏组件主要有单晶 n型双面
原子层沉积设备在硅片上制备了Al2O3薄膜，发现其可有效改善钝化性能使其有效少子寿命达到100s以上，将表面复合速率降低到100cm/s以下，说明Al2O3薄膜具有良好的钝化性能。文献中采用PECVD
镀膜的最优工艺参数。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量
不满足质量期望的工艺参数进行局部调整,实现工艺参数的优化。
1PECVD沉积氮化硅薄膜的试验方案
1.1PECVD系统反应室的结构
本试验采用PD-200N型等离子体增强化学气相沉积设备,其
，随着氮化硅保护层被铝浆烧穿而迅速降低。
4 结论
Al2O3薄膜的钝化作用可以由烧结前后的少子寿命变化量来衡量，在我们制备的5组样品中，Al2O3薄膜越厚，少子寿命在烧结前后的增加量越大，但过厚的
来源：太阳能杂志
摘要：以Al2O3/SixNy为钝化层，制备了PERC单晶硅太阳电池，研究Al2O3钝化层厚度对钝化效果的影响，分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响
在背表面介质膜钝化，采用局域金属接触，大大降低被表面复合速度，同时提升了背表面的光反射。此次爱康光电推出的PERC组件转化率达到了19%。
此外还有，多晶防尘组件(含有特殊工艺，自带清洁效果
地面和水上等应用场景。天合智能优配集成设备核心软、硬件，提供一体化的产品设计、集成与安装服务，同时配合一体化的控制和智能运维系统，以达成最佳的系统配合。该解决方案将为业主和开发商提供高可靠的系统解决方案
常规技术。PERC近年来效率记录不断被刷新，将成为未来三年内最具性价比的技术。
(单面PERC电池结构)
PERC技术通过在电池的后侧上添加一个电介质钝化层来提高转换效率。标准电池结构中更好的
的不同而异。因此，钝化膜沉积设备和膜开口设备(既可以使用激光也可以运用化学蚀刻)都需要在传统的电池生产线上额外增加加工设备。对于较少应用的激光边缘隔绝处理工艺生产线，需要增加一个化学湿式工作台进行背面
载流子复合，提高表面钝化效果;
(3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。
目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光PSG掺杂法由于
其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业
