被钝化设备
PECVD目的
在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。
镀膜原理
光照射在硅片表面时，反射会使光损失约三分之一
新工艺射频功率为;
6.等离子体的沉积方向
插片时硅片载体被工艺点固定，在硅片和石墨舟片接触很紧密的情况下(即硅片本身不弯曲，插片不翘起)，等离子基本上是垂直撞击到硅片表面。
PECVD
很容易由于温度和光照受到破坏, 以更快的速度释放弱键氢, 从而导致衰减。
随着时间的推移, 恢复进程被激活，然后达到饱和状态。释放的氢又会形成氢键，稳定的氢键会钝化缺陷部位。在LeTiD测试工况下
设计PERC技术取得了23.6%的效率，创下纪录。这一纪录于2018年5月被晶科能源以23.95%的效率超越。
效率创下纪录固然可喜，但起决定作用的是批量生产转换效率以及工艺的长期稳定性。硅基
。
UNSW(新南威尔士大学)认为(光致)再生过程的机理在于促使P型硅中存在的H+转化为H0，H0可以钝化BO+缺陷乃至金属离子如Fei+、Cri+，商业化的光致再生设备因需要高生产速率，因此需要
了该缺陷的结构(2003)。Axel Herguth提出了再生态理论解释初始光衰后功率恢复并保持稳定的原理(2006)。P型多晶硅电池的衰减则因氧含量相对少而恢复过程不明显，该衰减被认为不仅与B-O对
(ALD)技术形成的Al2O3层被用于进行背面钝化。沉积形成的Al2O3层还要进行一次后沉积退火，这一步被集成在随后的背 面SiNx减反射膜(ARC)沉积工艺上，采用的是管式等离子增强化学 气相沉积
的最直接影响就是落后产能被淘汰，优秀企业之间的竞争更加激烈。不断提高转换效率，进一步降低成本，是所有企业奋力奔跑的共同方向。
目前，从光伏应用市场占比来看，晶硅组件产品仍占据着90%以上的份额。根据
设备达到200台，产能达到25GW以上，且黑硅制绒直接替代常规酸制绒，无需增加工序。
但是，对光伏行业来讲，黑硅不是一个新技术。
1997年，美国哈佛大学的科学家Eric. Mazur
。不论是个人、团队还是企业，如果连敢于面对自己的缺点与不足，敢于发现与别人之间差距都做不到的话，这样的个人和组织何谈进步呢?它永远都是封闭的小王国，将面临市场边缘化，甚至最终被市场淘汰。
在偶然中
生产设备最先进、自动化和智能化程度最高、单体规模最大的高效晶硅太阳能电池生产基地。
毋庸置疑的是，5年来，通威太阳能从零开始，紧贴市场需求，不断强化生产管理，积极推进现代化、精细化管理，已经成为多家
全面印刷铝背场结构， 但PERC 电池背面采用钝化膜钝化后再通过激光开槽的方法形成局域接触结构， 其钝化膜可以降低接触电阻， 提高转化效率. 大量研究表明， PERC 电池的电性能主要与原材料的种类
进入10月，光伏利好政策频现，行业信心正在回升。在走向平价上网和市场化交易的新阶段，光伏产业降低度电成本的诉求前所未有的强烈，降本效果突出的组件端低成本成熟高效技术被加速普及。
在这一大背景下
技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备以及流程，柔性光伏组件，透明导电氧化玻璃(TCO，掺杂或本证氧化锌膜层)镀膜工艺。PECVD，PVD和低压
硅合金层厚度的增加而上升，随着氮化硅保护层被铝浆烧穿而迅速降低。
4 结论
Al2O3薄膜的钝化作用可以由烧结前后的少子寿命变化量来衡量，在我们制备的5组样品中，Al2O3薄膜越厚，少子寿命在烧结
摘要：以Al2O3/SixNy为钝化层，制备了PERC单晶硅太阳电池，研究Al2O3钝化层厚度对钝化效果的影响，分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响。
0 引言
为了
。由于氧化层很薄，硅薄层有掺杂，多子可以穿透这两层钝化层，而少子则被阻挡，如果在其上再沉积金属，就可以得到无需开孔的钝化接触。 中来光电此前将TOPCon技术引入其N型双面电池，电池平均转换效率提高到
