表面等离子

，在硅表面涂有一层具有良好性能的减反射薄膜，有害的杂质离子进入二氧化硅层，会降低绝缘性能，清洗后绝缘性能会更好。2.在等离子边缘腐蚀中，如果有油污、水气、灰尘和其它杂质存在，会影响器件的质量，清洗后
质量大大提高。3.硅片中杂质离子会影响P-N结的性能，引起P-N结的击穿电压降低和表面漏电，影响P-N结的性能。4.在硅片外延工艺中，杂质的存在会影响硅片的电阻率不稳定。清洗的原理要了解清洗的原理，首先

中,利用半导体光电化学电池替代常规固态光伏半导体太阳能电池来完成太阳能转换的潜在经济价值日益显现.在众多的半导体材料中,TiO2以其独有的低廉、稳定的特点得到广泛的应用.辐射到地球表面的太阳光中
,紫外光占4%,可见光占43%,N型半导体TiO2的带隙为3.2eV,吸收位于紫外区,对可见光的吸收较弱,为了增加对太阳光的利用率,人们把染料吸附在TiO2表面,借助染料对可见光的敏感效应,增加了整个

反应的气体增加，到达基片表面的反应产物增多，同时压强适当提高，反应室内的等离子体密度增大，反应气体中活性粒子增多，从而得到高沉积速率、高质量的非晶硅薄膜。但当工作压强进一步上升到较高值时，等离子体密度

中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室在有关项目的支持下，发展了量子点敏化太阳电池中量子点制备的新方法。该研究结果于2012年2月24日发表在英国化学会《化学通讯》（DOI
:10.1039/c2cc17081g）上。该新方法采用金属硫族络合物（MCC）为前躯体，MCC吸附到二氧化钛（TiO2）纳米颗粒表面后，将TiO2纳米膜进行温和的热处理，MCC分解为量子点并吸附在TiO2纳米颗粒

索比光伏网讯:中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室在有关项目的支持下，发展了量子点敏化太阳电池中量子点制备的新方法。该研究结果于2012年2月24日发表在英国化学会《化学通讯》(DOI
:10.1039/c2cc17081g)上。该新方法采用金属硫族络合物(MCC)为前躯体，MCC吸附到二氧化钛(TiO2)纳米颗粒表面后，将TiO2纳米膜进行温和的热处理，MCC分解为量子点并吸附

一个复杂的问题。等离子体本身是由电子、离子等带电电荷组成的准中性气体,因此,它的状态容易受到外界条件的影响而发生变化。衬底表面的带电状态、反应器壁的薄膜附着、电源的波动、气体的流速等都会改变等离子体的

索比光伏网讯:丝网印刷是太阳能电池制造的重要工艺，它质量的好坏会对太阳能电池的性能特别是电性能产生重要影响。在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和PECVD制减反膜，下一工艺
中，一般有2条或3条主电极粗线，以便于连接条焊接，而背面往往以铝硅合金作为背表面场，以提高开路电压，背面(正极)也有2条或3条便于焊接的粗电极线，并往往还布满细细的网格状银线。图7.1为一片多晶硅

，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量

中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室通过对有机金属螯合物作为量子点敏化剂前驱体的可能性的研究，发展了量子点敏化太阳电池（QDSCs）中量子点制备的新方法。该项目以中国科学院新型薄膜
表面后，将TiO2纳米膜进行热处理，MCC分解为量子点并吸附在TiO2纳米颗粒上形成量子点敏化光阳极（如图），制备的量子点和纳晶氧化物表面直接接触，在二氧化钛表面覆盖率高。量子点敏化太阳能电池是染料敏化

迫切需要寻找新的途径。直到六十年代人们才发现等离子体可用于去除残留碳化物，并可成功地用于等离子体去胶工艺中，随后很快发展了半导体器件工艺中的干法刻蚀技术。2.干法刻蚀干法刻蚀是把材料的被刻蚀表面暴露于