表面等离子
步伐。 今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶
子专用设备工业协会常务副秘书长 金存忠 今年，制备高转换效率纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备、采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机、带二次
降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入
设备制造商针对降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子
光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备、采用
等离子体束在除硼时对硅的损耗大大降低，而巧妙的雾化使得比表面积大大提高，因而大大改善了真空提纯和脱磷的效果。PM法不仅成功地提高了纯度，使得冶金法多晶硅能够达到近7N的水平，而且保证了生产过程中质量的
太阳能级硅的关键的技术进展也是由企业为主导进行的。日本的JFE(川崎制铁)的试验从2001年就开始了，他们倾向于使用等离子体束和电子束对磷硼进行去除，并取得了良好的效果。但是，他们的工艺成本一直高居不下
的气相薄膜生长技术，具有良好的保形性、均匀性和高的台阶覆盖率。通过原子层沉积氧化铝薄膜对晶体硅太阳能电池硅片进行表面钝化，可以增加载流子的有效寿命，从而大幅度提高太阳能电池整体的转换效率。ALD表面
。此外，去年中科院应用技术研究院（浙江）嘉兴微电子设备与仪器工程中心也早在晶硅太阳能电池表面钝化技术研究中取得新进展。该创新团队利用自主设计生产的KMT-200A型原子层沉积设备，在P型单晶硅片上生长
达到17.88%后，再度取得进展，突破18.3％。 该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入设备，制备了纳米表面结构的黑硅材料。黑硅的纳米结构具有良好的吸光性能，也可以提高电池的填充因子与短路
多晶硅电池转换效率达到17.88%后，再度取得进展，突破18.3%。高效多晶黑硅太阳能电池I-V曲线(2013年3月)该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入设备，制备了纳米表面结构的黑硅材料。黑硅的纳米结构
系列太阳能电池中，单晶硅大阳能电池转换效率最高，技术也最为成熟。高性能单晶硅电池是建立在高质量单晶硅材料和相关的成热的加工处理工艺基础上的。现在单晶硅的电地工艺己近成熟，在电池制作中，一般都采用表面织
构化、发射区钝化、分区掺杂等技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池。提高转化效率主要是*单晶硅表面微结构处理和分区掺杂工艺。在此方面，德国夫朗霍费费莱堡太阳能系统研究所保持着
