氮化硅膜
机器人系列产品产业化项目(总建筑面积26万平方米)
145 烟台经海海洋渔业有限公司现代渔业产业园项目(年产鱼苗1500万尾)
146 烟台金正环保科技有限公司水环境产业园项目(年产碟管式膜柱43万支
有限公司高性能氮化硅系列产品产业化建设项目
41 山东齐鲁华信高科环保新材料有限公司10000吨/年催化新材料和高端催化剂项目
42 中国移动通信集团有限公司山东分公司中国移动(淄博)鲁中数据中心
化学反应，沉积成膜。管式PECVD在传统晶硅电池中沉积的薄膜厚度均大于100nm，而在HBC电池中板式PECVD 在硅片正反面先后沉积两层非晶硅薄膜用作钝化层，钝化层的厚度需控制在5-10nm，薄膜
空间。
(3)TCO和低温银浆
TCO透明导电膜
制备TCO透明导电膜，采用PVD或RPD设备。PVD工艺较为成熟，国际领头羊公司的PVD设备产能可达8000片/小时，国产PVD设备产能也达到
PERC电池为主，PERC电池市场占比达到86.4%。
1) Al-BSF电池技术。为改善太阳能电池效率，在P-N结制备完成后，在硅片的背光面沉积一层铝膜，制备P+层，称为铝背场电池。铝背层主要进行表面
二铝和氮化硅作为背 反射器，增加长波光的吸收，同时增大P-N极间的电势差，降低电子复合，提升光电转换效率，还可以做成双面电池。随着工艺成熟，设备国产化和成本降低， 逐渐成为市场
硅 SiOx 和氮化硅 SiNx 等钝化叠层， 因此电池的表面复合速率大大的降低，电池的开压 VOC 可以提升 15-20mV。而且，由于背面钝化层可以增加光学内反射作用，因此电池的电流 ISC 也会有显著
，HBC在IBC电池的基础上，背面依次插入本征非晶硅钝化层和透明导电膜层，具有更好的钝化效果。另一方面，相比于HJT，HBC结合了正面无遮挡的技术优势，同时正面采用SiNx减反射层代替TCO，进一步减少
;对于RPD工艺路线，新型ICO靶材载子迁移率可达50-150cm2/Vs，高于IWO的40-80cm2/Vs，有望大大优化薄膜性能。此外，研究者发现将TCO膜的厚度减为1/3~1/2，并覆盖以氮化硅
手段主要包括两种：
►减少界面缺陷态密度，往往通过化学方式实现：通常的方法是在表面沉积钝化膜或者H原子修复来降低界面的悬挂键，比如在PERC的背面沉积氧化铝，就是典型的化学钝化方式。
►减少
29.膜用新材料研发制造及膜元件自动化生产
30.煤炭地下气化开采技术开发与应用，煤炭地下气化发电成套设备制造
31.煤炭开采110/N00工法配套智能化装备研发应用
32.玄武岩纤维及后制品研发
MOSFEF和IGBT器件的设计制造，LTCC滤波器、MCM多芯片组件、厚膜通信电源、压电驱动器等产品的研发制造
38.汽车用机械式变速箱、电控机械式自动变指变速箱
(AMT)、新能源变速箱、动力换挡
的一种，其具备成膜均匀性好、薄膜密度高、台阶覆盖性好、低温沉积等优点。2014年起，理想晶延开始布局高效光伏背钝化设备开发，采用国际先进的ALD(原子层沉积)技术，自主研发了氧化铝背钝化ALD设备
。
《科创板日报》记者了解到，增加背钝化层，可以降低背表面符合，提高背内面反射率，而常用的介质钝化材料除了氧化铝外，还包括氮化硅、氧化硅、氮氧化硅，其中氧化铝薄膜生长及工艺率先取得突破。
据了解，至
相对大。
b. 使用检测设备：用EL-C;
c. 分析判断方法：
使用破坏测试，先沿着栅线处断开，然后用EL-C 测试栅线与氮化硅膜接触面，利用图象来分析判断，如果栅线内部结合不紧凑有空
;对于方阻小的就要进行破坏测试，先去除氮化硅膜，然后测试方阻来确定;
2.15 湿刻过刻
测试指标表现为：短路电流偏小、串联电阻偏大、并联电阻偏小、暗电流偏大;
a. 备注说明：正常
覆盖一层氮化硅膜作为保护层。为使背面金属电极与硅形成良好的欧姆接触，需要对钝化层进行刻蚀，目前主流工艺采用激光开槽的方式来完成这一工序。
PERC 技术日趋成熟
以及特殊的边缘隔离，提升了制造的成本和复杂性，而离子注入可实现单面掺杂，均匀性好，可简化制造流程。表 面钝化方面，背表面采用氧化硅/氮化硅叠层钝化膜可以起到良好的表面钝化和场钝化效果，正表面使用
的磷扩散机台)，就可以完成Topcon电池正面氧化铝/氮化硅 ,背面遂穿氧化层/多晶硅与氮化硅的钝化。体现了该设备优异的整合能力与生产的可调度性。固定资产投入具备竞争力，同时工艺路线也可简化与控制
。
该设备平台制备的钝化膜体现了优异的镀膜均匀性和方阻均匀性，掺杂钝化效果也明显优于传统的磷扩散工艺，同时在钝化表现部分，也展现了综合的正背面钝化能力。
Topcon电池技术极大地简化了电池生产工艺，性价比高，且能量转化率高，最有望作为下一代N型高效电池的切入点。
