氮化硅膜
的氮化硅膜沉积并在在正面钝化的应用中已经积累了巨大的装机量，相关基于PECVD的设备升级方案变成了光伏企业的首选。但这道选择题还远未结束。即便确认使用了PECVD设备，但在当时PECVD设备采用的是板式
PECVD技术，板式PECVD将钝化膜生长及氮化硅覆膜集成一体，设备及工艺相对稳定，在初期的PERC行业市场中短暂处于主导地位，尤以梅耶博格等海外公司优势突出。但板式PECVD工艺其也存在钝化效果差
区域提高电池的开路电压，从而提高转换效率。topcon比perc多了哪几道工序TopCon相比PERC多了3道工序，分别是制结、镀膜和掩膜。其中制结是在PERC制绒清洗之后增加的一道工序，镀膜和掩膜分别在制作氧化硅层和氮化硅层之后增加的工序。
非晶硅(n-a-Si:H)层，然后在900oC退火后将其转化为nPoly-Si层。制造P型衬底：使用氧化硅(SiOx)或氮化硅(SiNx)等材料制造P型衬底，作为下一步生长n-a-Si层的支撑。生长P
接触面。制造TopCon电池的背面：在电池背面使用水氧化物(H2O)或氢氧化物(OH)等材料，通过施加电压形成一层透明导电膜。钝化：使用湿化学法在TopCon电池背面形成一层钝态薄膜，以增加电池的循环寿命
TOPCon电池是一种新型的高效太阳能电池，其制备工艺包括清洗制绒、正面硼扩散、刻蚀去硼硅玻璃(BSG)和背结、氧化层钝化接触制备、正面氧化铝/氮化硅沉积、背面氮化硅沉积、丝网印刷、烧结和测试。在这
个制备过程中，TOPCon电池的核心工序是正面氧化铝/氮化硅沉积和背面氮化硅沉积。正面氧化铝/氮化硅沉积是通过丝网印刷和烧结来完成的，而背面氮化硅沉积是在水分蒸发之后自动进行的。最后，通过测试和筛选
为nPoly-Si层。4、制造P型衬底：使用氧化硅(SiOx)或氮化硅(SiNx)等材料制造P型衬底，作为下一步生长n-a-Si层的支撑。5、生长P型层：在P型衬底上使用氧化还原法生长一层高质量的
水氧化物(H2O)或氢氧化物(OH)等材料，通过施加电压形成一层透明导电膜。8、钝化：使用湿化学法在topcon电池背面形成一层钝态薄膜，以增加电池的循环寿命。9、分离：将topcon电池从衬底上分离
、疝气修复材料、新型透析膜材料、介入治疗用导管、高端功能型生物医用敷料等的生产和研发（五）纺织服装、服饰业47.高支棉纱的生产48.采用计算机集成制造系统的服装及服装半成品生产49.功能性特种服装生产
丙烯酸辛酯）生产70.高性能氟树脂、氟膜材料，医用含氟中间体，符合国际公约的零ODP和低GWP制冷剂、清洗剂、发泡剂等生产71.氢燃料绿色制备技术（化学副产品制氢、生物制氢、来自可再生能源的电解水制氢等
包括氮化硅膜，氧化铝膜，二氧化硅膜，非晶硅膜，透明导电膜 等。PERC，TOPcon，HJT，P-IBC 等电池技术通过使用不同的膜层来达到提效 目的。氮化硅膜：减反作用和钝化作用。减反射膜原理
正面与后者的背面膜层及金属化方式一致，两面最外侧也都是氮化硅减反钝化层，前道的清洗制绒工艺也相同。组件端龙头引领，TOPCon进入规模化量产元年，溢价下经济性初现，国海证券列举了各大龙头布局情况
电池效率已可以达到25%。但掩膜等复杂工艺抬高制造成本，金属栅线也需要专门设计，单面连接方式有利组件降本增效值得一提的是，背接触电池与分布式场景契合度高，结合龙头公司引领，或有望从小众走向大众。国海证券在
包括氮化硅膜，氧化铝膜，二氧化硅膜，非晶硅膜，透明导电膜 等。PERC，TOPcon，HJT，P-IBC 等电池技术通过使用不同的膜层来达到提效 目的。 氮化硅膜：减反作用和钝化作用。减反射膜原理在于
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145 烟台经海海洋渔业有限公司现代渔业产业园项目(年产鱼苗1500万尾)
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42 中国移动通信集团有限公司山东分公司中国移动
