薄膜制备

性价比提升超越 PERC，则有望激发现有产 线改造需求，延长现有产线生命周期，建议积极关注后续产业化进展。 3)HJT 电池： HIT 工艺步骤简单，仅有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、透明导电膜制备和
等离子体能量分布相对集中且离化率更高，高能离子较少，表现出低离子损伤的优良特性。同等条件下，RPD 技术制备的 TCO 薄膜结构更加致密、结晶度更高、表面更加光滑、导电性更高、光学透过率更好1。此外

dye-sensitized solar cells的综述文章。 为了提升光捕获能力，并促进光生电子的转移，通常将卟啉染料设计成D--A型 (电子给体-桥-电子受体)推拉电子结构，吸附于二氧化钛薄膜
，并且两种结构单元能够以精准的1:1比例均匀、致密地吸附于TiO2薄膜，有利于提升太阳能吸收与光电子收集效率，最终实现基于碘电解质DSSCs的最高光电转换效率12.4%。该类协同伴侣染料还具有对桥连基

上升通道。 在过去十年的行业发展过程中出现过两次跳跃间断点。第一次是2009-2010年冷氢化西门子法制硅料，硅料价格的雪崩导致a-si、CIGS和镝化镉等等薄膜路线的退出(first solar
PERC电池。 2.两次跳跃简短点复盘 2.1.2009-2010年多晶替代薄膜 2008年金融危机之后，全球财政货币政策刺激，尤其德国西班牙等欧洲国家大力补贴光伏。当时的产业链瓶颈在硅料供给

上升通道。 在过去十年的行业发展过程中出现过两次跳跃间断点。第一次是2009-2010年冷氢化西门子法制硅料，硅料价格的雪崩导致a-si、CIGS和镝化镉等等薄膜路线的退出(first solar
PERC电池。 2.两次跳跃简短点复盘 2.1.2009-2010年多晶替代薄膜 2008年金融危机之后，全球财政货币政策刺激，尤其德国西班牙等欧洲国家大力补贴光伏。当时的产业链瓶颈在硅料供给

问题，团队在2D钙钛矿中引入碱金属离子(K+ , Rb+)掺杂，一方面通过优化2D钙钛矿的结晶与成膜过程制备低缺陷态薄膜;另一方面不同尺寸大小的碱金属离子能调控2D钙钛矿晶体取向，促进薄膜中的载流子

异质结是光伏行业的第五次技术革命。相较于传统电池，异质结电池生产工艺步骤大幅减少，主要工艺仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应设备为制绒机、HWCVD/PECVD

，钝化不导电的矛盾，使得硅太阳电池技术仅用单层薄膜就可以同时实现两种物理效果，大大简化了制备工艺。 该工艺初步应用在多晶硅电池上，实现了18.8%的电池效率，与工业数据相当，但工艺上不再涉及高温
基础和技术思路。 降低成本和提高转换效率是光伏产业永恒的主题。硅太阳电池产业化关键技术高温或高真空掺杂和介电薄膜钝化，已将电池转换效率提升至接近理论极限，但高温和真空技术严重制约了其成本的进一步降低

。硅太阳电池产业化关键技术高温或高真空掺杂和介电薄膜钝化，已将电池转换效率提升至接近理论极限，但高温和真空技术严重制约了其成本的进一步降低。据悉，陈剑辉等人早在2017年就已发现带有磺酸基团的聚合物薄膜
导电和钝化的双重效果。通过相关技术，获得导电-钝化相图，发现了导电-钝化共存相，并提出了导电的钝化性接触的概念，从科学上解决了导电不钝化钝化不导电的矛盾，使得硅太阳电池技术仅用单层薄膜就可以同时实现

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司宣布其研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。 微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台，用于Topcon电池生产
。 该设备平台制备的钝化膜体现了优异的镀膜均匀性和方阻均匀性，掺杂钝化效果也明显优于传统的磷扩散工艺，同时在钝化表现部分，也展现了综合的正背面钝化能力。 Topcon电池技术极大地简化了电池生产工艺，性价比高，且能量转化率高，最有望作为下一代N型高效电池的切入点。

江苏微导纳米科技股份有限公司研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台，用于Topcon电池生产技术，产品已交用户使用
)，就可以完成Topcon电池正面氧化铝/氮化硅 ,背面遂穿氧化层/多晶硅与氮化硅的钝化。体现了该设备优异的整合能力与生产的可调度性。固定资产投入具备竞争力，同时工艺路线也可简化与控制。 该设备平台制备