薄膜制备

及不同掺杂类型的非晶硅薄膜，并采用双面透明导电薄膜做电流收集层，从而形成高效光伏电池。区别于常见的丝网印刷银栅线的硅异质结电池，C-HJT电池的特点在于其采用金属沉积的方式制备铜栅线，使栅线具有更加优化的高宽比，提高了短路电流，提升了电池的转换效率，同时铜栅线在材料导电性及成本上也更具有优势。

沉积非晶硅薄膜，综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，被认为是高转换效率硅基太阳能电池的重要发展方向之一。 与主流的高效光伏电池PERC相比，异质结转换效率和发电量都更高，且具备更强的技术延展空间
生产环节，最高工艺温度不超过200℃，可使用130m甚至更薄的硅片，在设备和材料上的降本空间很大，成本优势非常明显。 异质结电池还有其它优势。据索比光伏网称，异质结电池工艺简单(制绒清洗、非晶硅薄膜

新技术加速完成国产替代。 TOPCon技术量产效率已达到24.5%。隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide Passivated Contact)，在电池背面制备一层超薄氧化
的异质结(Heterojunction with Intrinsic Thin-Layer)，是一种利用晶体硅基板和非晶体薄膜制成的混合型太阳能电池。其以N型单晶硅片为衬底，在硅片正面依次沉积本征

HJT的主要生产工艺有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备和丝网印刷四步，其中TCO制备是生产HJT电池的第三道核心工序，高质量的TCO薄膜能有效提升HJT电池的整体转换效率。目前TCO镀膜设备

光伏发电产业链中处于中游，受行业影响波动较大，需要企业具有强大的研发实力和竞争能力。 明冠新材表示，经过多年研发积累，公司在薄膜基材和胶粘剂制备、材料表面处理以及涂布复合工艺方面形成了公司的核心能力。相关
优点，具有突出的竞争优势。 产品研发方面，明冠新材称，公司通过自身技术积累开发了M 膜产品，同时，基于成熟的太阳能电池背板的聚烯烃类薄膜制备相关技术，以M膜产品并作为背板内层材料，采用耐候性 PET

，技术上不再存在壁垒。 异质结电池工艺简单(制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备)、效率高、工艺温度低、光致增益全生命周期发电量高、弱光发电性能较好，以及能更好的利用超薄硅片，并且未来可与

，高能离子较少，表现出低离子损伤的优良特性。同等条件下，RPD 技术制备的 TCO 薄膜结构更加致密、结晶度更高、表面更加光滑、导电性更高、光学透过率更好。此外，RPD 方法还具备低沉积温度、高速生长
，成为中国光伏装备第一股。 捷佳伟创系业内较早开始开发HJT整线设备的厂商。HJT电池制备的第三道核心工序是制作透明导电膜，行业内主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应 等离子体沉积法)两种方式

。 团队通过科学测算和详细论证，将溶液法制备钙钛矿光伏组件与异质结生产中非晶硅沉积和碲化镉薄膜制备进行了比较。研究结果表明即使在钙钛矿生产过程中使用危害最大的DMF，溶剂排放对人身健康和环境的影响

)钙钛矿技术难以实现组件级别面积的均匀沉积，适合在硅片尺寸级别制备;5)钙钛矿薄膜组件采用ITO进行互联，叠层电池可采用铜焊带互联。 叠层电池目标：2021H1做小尺寸电池;2021H2做全硅片尺寸
工艺需求： 1)Buffer layer/i1/i2需要搭配不同的微结构薄膜，硅接触面以松散膜层为主;2)掺杂层多层膜工艺，能更有效地提升电池转换效率;3)随着未来效率目标越来越高，膜层数量和

具有很高的光电转换效率已与多晶硅薄膜电池相媲美，但是电池的长期稳定性远未达到商业化的要求。此外，传统的低温溶液法可以便利地制备钙钛矿薄膜，但所制备的钙钛矿通常是多晶薄膜极易在晶界或表面产生针孔和缺陷