薄膜制备

，PERC产线需要6000-8000万元/GW改造升级为TOPCon产线。改造方式以多技术路线并进，包括LPCVD和PECVD两条路，分为三种工业化流程： 1)方法一：本征+扩磷。LPCVD制备多晶硅膜结合
。LPCVD制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺。离子注入技术是单面工艺，掺杂离子无需绕度，但扩硼工艺要比扩磷工艺难度大，需要更多的扩散炉和两倍的LPCVD，投资成本高、良率更高，主要是隆基股份布局

PERC的8道和TOPCon的10道工艺，HJT仅需4道工序即可完成，在250℃低温环境下制备，相比于传统P-N结在900℃高温下制备，有利于薄片化和降低热损伤来降低硅片成本，从生产效率和产品良率上更有优势
40%; 3)设备方面降本：目前单GW成本低于4亿元，未来仍有40%降本空间。HJT制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD

产业链循环为重点，壮大清洁能源制造配套能力，推动清洁能源产业全链条发展。 统筹规划优化产业布局，打造银川市、石嘴山市、吴忠市光伏制造，银川市、吴忠市、中卫市风机制造，宁东基地氢能制备、储运、应用
等关键技术的引进和研发，布局智能型变压器、智能逆变器、高效热泵、大规模储能等高端清洁能源装备制造。依托区内低成本氢源，打造氢能产业基地，推进氢能制取、储存、运输、应用一体化发展，实施绿氢制备与冶金

器件的发展路线图。 钙钛矿半导体可以在溶液中处理，并且可以在表面上涂覆半导体油墨以形成所需的薄膜。这可以用于半导体器件的生产，例如光伏电池或发光二极管。 这篇论文章的合著者、德国康斯坦茨大学的
。 Schmidt-Mende说：我们可以简单地改变钙钛矿的化学成分来调整其带隙，从而改变光线吸收曲线。这可用于制备不同波长的发光二极管，或调整叠层光伏电池的钙钛矿材料以优化吸收曲线。其高缺陷容限令人惊讶，我们需要

　　理想万里晖VHF PECVD在微晶硅薄膜制备过程中，具有离子损伤低、沉积速率高、晶化率高等优势，应用微晶-HJT技术，可将目前的HJT电池量产效率提升1.5个点以上，HJT电池即将进入25.5

太阳电池的效率产生负面影响。因此，有学者提出电池设计方案中用薄膜将金属与硅衬底隔离的方案减少少子复合，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构。超薄氧化层可以
沉积非晶硅薄膜方式。TOPCon 需要在 PERC 产线上增加扩散、 刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而 HJT 电池工艺最简单、步骤最少(核 心工艺 4到7 步)，但基本全部替换掉 PERC

大; 2)从工艺角度看，TOPCon与HJT实现功率提升的方式都是通过钝化，不过前者通过隧穿氧化层，HJT通过沉积非晶硅薄膜方式。TOPCon需要在PERC产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加
电池金属电极仍与硅衬底直接接触，金属与半导体的接触界面由于功函数失配会产生能带弯曲，并产生大量的少子复合中心，对太阳电池的效率产生负面影响。因此，有学者提出电池设计方案中用薄膜将金属与硅衬底隔离的方案

市场占有率仍在不断扩大。 TOPCon成套银浆产品未来市场空间广阔 据了解，TOPCon 是一种在 PERC 结构电池基础上，在硅片背光面制备超薄膜氧化硅层和沉积高掺杂多晶硅层，以达到降低界面
高性能银铝浆开发项目和薄膜硅/晶体硅异质结(HJT)太阳电池超高导电性低温银浆开发项目以研发新型银浆产品，并取得了突破性进展。2020 年 TOPCon 电池用银浆的市场需求量在 100吨左右，其中聚和