氮化硅膜

、无机非金属等高性能纤维及其复合材料，研发高品质不锈钢、铝合金与特种金属材料。建设国家级特种陶瓷材料生产研发基地，推动碳化硅纤维、氮化硅纤维和透波／吸波材料、陶瓷先驱体材料产业化。3.高端装备制造
除尘器、空气净化器等生产规模，加快膜材料和组件、高浓度难降解工业废水成套处理设备等水处理设备产业化。5.新能源产业。完善从硅料（薄膜）、太阳能电池及组件到系统集成、电站工程总承包全产业链，支持太阳能光伏

学品及中间体，打造氟化工新材料生产基地。发展碳纤维、锦纶、无机非金属等高性能纤维及其复合材料，研发高品质不锈钢、铝合金与特种金属材料。建设国家级特种陶瓷材料生产研发基地，推动碳化硅纤维、氮化硅纤维和透
、垃圾处理技术设备和环保药剂；扩大平板式脱硝催化剂、高效电袋复合除尘器、空气净化器等生产规模，加快膜材料和组件、高浓度难降解工业废水成套处理设备等水处理设备产业化。 5.新能源产业。完善从硅料（薄膜

非金属等高性能纤维及其复合材料，研发高品质不锈钢、铝合金与特种金属材料。建设国家级特种陶瓷材料生产研发基地，推动碳化硅纤维、氮化硅纤维和透波／吸波材料、陶瓷先驱体材料产业化。3.高端装备制造业。重点培育
、空气净化器等生产规模，加快膜材料和组件、高浓度难降解工业废水成套处理设备等水处理设备产业化。5.新能源产业。完善从硅料（薄膜）、太阳能电池及组件到系统集成、电站工程总承包全产业链，支持太阳能光伏

、锦纶、无机非金属等高性能纤维及其复合材料，研发高品质不锈钢、铝合金与特种金属材料。建设国家级特种陶瓷材料生产研发基地，推动碳化硅纤维、氮化硅纤维和透波／吸波材料、陶瓷先驱体材料产业化。3.高端装备制造
复合除尘器、空气净化器等生产规模，加快膜材料和组件、高浓度难降解工业废水成套处理设备等水处理设备产业化。5.新能源产业。完善从硅料（薄膜）、太阳能电池及组件到系统集成、电站工程总承包全产业链，支持

电池技术，此外钙钛矿电池作为科研界的明星同样被业界看好。 1)PERC电池技术 PERC技术是指在电池的背电极与体层间添加一个电介质钝化层(一般为三氧化二铝、二氧化硅或氮化硅)来提高转换效率。由于
引入此技术。 2)HIT电池技术 HIT电池的特征是以光照射侧的p-i型a-Si：H膜(膜厚5～l0nm)和背面侧的i-n型a-Si：H膜(膜厚5～10nm)夹住晶体硅片，在两侧的顶层形成透明的电极

技术是指在电池的背电极与体层间添加一个电介质钝化层（一般为三氧化二铝、二氧化硅或氮化硅）来提高转换效率。由于标准电池结构中更高的效率水平受限于少数载流子的复合，PERC电池最大化跨越了P-N结的电势
已开始运用PERC技术大规模生产电池，我国大部分企业已落后，仅晶澳、乐叶等一线企业在积极引入此技术。2）HIT电池技术HIT电池的特征是以光照射侧的p-i型a-Si：H膜（膜厚5～l0nm）和背面侧的

容器材料的研究问题，必须将坩埚对硅料的污染控制在太阳能级硅所允许的范围内。●控制晶体结构，尽量减少晶体中的缺陷，才能制成高效率的电池。⑶辅料氮化硅粉的生产，国内不能生产满足生产需求的产品，主要都是由国外
企业的水平，但在高效率电池技术研发方面还存在着差距。而提高硅电池的光电转换效率的主要技术壁垒包括以下几个方面：●减少电池表面栅线遮光率，以增加电池的有效受光面积。●制备良好的绒面和减反射膜以降低电池

氮化硅(SiNx：H)薄膜用作电池正面的减反射膜。其中原因之一在于相对合适的折射率，但更重要的原因则在于氮化硅优良的的钝化效果。氮化硅除了可以饱和表面悬挂键，降低界面态外，还通过自身的正电荷，减少正面n

　　1.1 硅片裂纹 　　硅片的微裂纹 　　由于硅片生产中也会产生微裂纹，实际出厂中还是很多被通过了，在电池片表面镀上氮化硅膜后，很难检测出这种细小的裂纹缺陷 　　1.2 组件端隐裂

硅片表面的区域，磷杂质浓度超过硼杂质浓度，从而制得一层薄的、重掺杂的n型区。之后去除电池片的氧化层和侧面及背面的结。再通过化学气相沉积法制成一层减反射膜氮化硅膜。最后用丝网印刷的方法印刷电极并烧结
器件，目前常规产业化晶体硅电池前表面主要是由产生光电流的氮化硅受光区域与收集电流的金属栅线电极组成，栅线是电池的重要组成部分，它负责把电池体内的光生电流输运到电池外部，而由于电池串联电阻引起的电学损失