会上,与会专家及科技局成果处领导在审阅资料、听取项目组汇报的基础上,经过质询和讨论,一致认为项目组提供资料符合成果评价要求,项目在氢气回收纯度和节能降耗方面具有一定创新性。本项目通过对尾气回收系统运行参数和设备进行分析研究,提出了尾气回收设备工艺优化设计方案,并且通过对硅芯制备基料工艺研究,完善了高纯
多晶硅硅芯的生产工艺和操作规程。通过项目实施,能够大幅提升回收氢气纯度,降低氢气生产单耗,增加氯硅烷回收量,并提高硅芯产品质量和生产效率。
专家委员会一致同意本项目通过成果评价,认为该成果达到国内领先水平,建议加强成果应用,进一步提高高纯多晶硅生产节能降耗水平。
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