太阳能电池制造——清洗制绒工艺

索比光伏网讯:多晶硅制绒是损伤层的去除和制绒面同时进行的，控制的主要参数是制绒深度，为保证损伤层的去除干净，制绒深度必须要够，但不能过大，制绒深度不够导致损伤层去除不净，腐蚀坑过深过窄，制绒深度过大导致腐蚀坑过大，大的不规则腐蚀坑洞较多，绒面一致性差等。

在绒面硅片上制成PN结太阳能电池，它有以下特点：

1.绒面电池比光面电池的反射损失小，如果再加减反射膜，其反射率可进一步降低。

入射光在光锥表面多次折射，改变了入射光在硅片中的前进方向，不仅延长了光程，增加了对红外光子的吸收，而且有较多的光子在靠近PN结附近产生光生载流子，从而增加了光生载流子的收集几率。

2.在同样尺寸的基片上，绒面电池的PN结面积比光面大很多，因而可以提高短路电流，转换效率也有相应提高。

3.绒面也带来了一些缺点：一是工艺要求提高了；二是由于它减反射的五选择性，不能产生电子空穴对的有害红外辐射也被有效地耦合入电池，是电池发热；三是易造成金属接触电极与硅片表面的点接触，使接触电阻损耗增加。

图1RENA清洗制绒设备

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