中国多晶硅厂洛阳中硅(Luoyang Zhonggui)被美国媒体爆出，副产品四氯化硅(SiCL4)处理不当造成污染，凡经倾倒或掩埋过四氯化硅的土地即成为不毛之地，草和树都不会生长，凸显投入西门子法的新加入厂商其副产品带来严重问题。
以某日系多晶硅厂数据来看，采传统西门子法所产出1,250吨纯多晶硅，就会附带产出2.75万吨四氯化硅，副产品处理问题，将是新进多晶硅厂商一大挑战。
老字厂多晶硅厂包括美国Hemlock、德国Wacker、日本Tokuyama等都是资深化学厂，具有回收副产品提炼再利用能力，但目前中国新加入的多晶硅厂多数无此能力。
目前市场也使用锌或钠还原法，可将生产多晶硅所产生四氯化硅，提炼成硅以再利用，日本Chisso就是锌还原法的代表厂之一，全球各地都有企业进行这类研究，但目前仍处于实验室阶段。
我国台湾地区投入多晶硅厂的速度不及大陆，目前无投入传统西门子法。主要是台湾的环评难过，建厂有相当的难度。台湾多数都是采用新的提炼方法，例如台塑已公开表示不采用西门子法、山阳采用与加州理工学院技术团队研发的“自蔓延气旋式燃烧反应法”、旭晶及元晶采钠还原法、AE采流体床反应炉法等，但目前仅AE公布2009年将量产，初期年产能为1,500吨。
新技术法虽然没有四氯化硅的问题，却有产品纯度是否符合需求的问题，除了西门子外的技术，目前仍仅美国MEMC的流体床反应炉法受到肯定，其余皆未被大量采用。
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